Integrated circuit (IC) layer topology analysis methods are the main research topic of this doctoral thesis. Multiple methods are presented for IC layer feature analysis along with a software system where they are implemented and tested. Each of different IC layers has distinct features therefore it is very difficult to use universal algorithm for their analysis. A specialized software system was developed to test various analysis algorithms. The system and its architecture is a part of this thesis. Main tasks solved during research of this these were: finding or developing of optimal methods suitable for IC layer structure recognition, software system design and implementation, experimental testing of implemented methods accuracy and efficiency. Thesis consists of introduction, four chapters and the chapter of conclusions. In the introduction scientific novelty of the work is described as well as the aims and tasks of the work are formulated and the author’s publications and structure of the thesis are presented. The first chapter is dedicated to literature review. It covers existing IC layer structure analysis systems and algorithms which are used for this task. Generic image processing and analysis algorithms and methods are also covered as they are used as part of methodology developed in this thesis. The second chapter details different types of IC layers and their properties. Image processing and analysis methods suitable for each of these layer types are... [to full text] / Disertacijoje nagrinėjama integrinių grandynų (IG) topologijos elementų atpažinimo sistemos metodai ir algoritmai, jų taikymas bei pačios sistemos architektūra. Integrinių schemų projektavimo ir gamybos pramonėje problema yra automatinis kiekvieno technologinio lusto sluoksnio vaizdinės informacijos apdorojimas ir analizė, tiksliai išskiriant gamybos proceso metu suformuotas struktūras, tam kad šių duomenų pagalba galima būtų atlikti gamybos proceso tikslumo patikrinimą. Šio disertacijos darbo tyrimų objektas yra puslaidininkinių integrinių schemų sluoksniuose suformuoti elementai. Kiekvieno iš skirtingų sluoksnių struktūros pasižymi skirtingomis savybėmis, todėl labai sunku sukurti universalius analizės metodus. Dėl šios priežasties buvo sukurta speciali programinės įrangos (PĮ) sistema. PĮ architektūra yra disertacijos tyrimų objektas. Pagrindiniai disertacijoje sprendžiami uždaviniai: IG elementų struktūrų atpažinimo metodų pritaikymas ir kūrimas, PĮ sistemos projektavimas ir įgyvendinimas, eksperimentinis įdiegtų metodų efektyvumo ir tikslumo tyrimas. Disertaciją sudaro įvadas, keturi skyriai ir rezultatų apibendrinimas. Įvade nagrinėjamas problemos aktualumas, formuluojamas darbo tikslas bei uždaviniai, aprašomas mokslinis darbo naujumas, pristatomi autoriaus pranešimai ir publikacijos, disertacijos struktūra. Pirmasis skyrius skirtas analitinei literatūros apžvalgai. Jame nagrinėjamos žinomos IG topologijos elementų atpažinimo sistemos ir jose naudojami metodai... [toliau žr. visą tekstą]