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Spelling suggestions: "subject:"czochralski process"" "subject:"gzochralski process""

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Gray-box modeling and model-based control of Czochralski process producing 300 mm diameter Silicon ingots / 直径300mmのシリコンインゴットを製造するチョクラルスキープロセスのグレーボックスモデリング及びグレーボックスモデルに基づく予測制御

Kato, Shota 23 March 2022 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(情報学) / 甲第24040号 / 情博第796号 / 新制||情||135(附属図書館) / 京都大学大学院情報学研究科システム科学専攻 / (主査)教授 加納 学, 教授 大塚 敏之, 教授 下平 英寿 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Informatics / Kyoto University / DGAM
Czochralski process
Gray-box model
Model predictive control (MPC)
Successive linearization
Moving horizon estimation
Semiconducting silicon
007

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