Abstract The behaviors of the TaNx barrier layer that placed between the Cu metal and GaAs have been studied by using X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and scanning electron microscopy. The TaNx and Cu films were deposited on GaAs sequentially with RF magnetron sputter. With a 250 nm thick TaNx barrier layer, the Cu metal can be impeded from reacting with GaAs substrate at 575¢Jannealed for one hour. Within an As or Ga overpressure environment condition, the failure temperature still occurred below 600¢J. The failure of TaNx diffusion barrier layer for preventing the reaction of the Cu and GaAs was originated for the dissociation of the GaAs itself at 580¢J. The outgoing As atoms increased the deterioration speed of the TaNx film and reduced its blocking ability.

<p>Tantalum diffusion barrier coatings were investigated as a way to improve the conversion efficiency of CIGS (copper indium gallium diselenide) solar cells.  Tantalum coatings were deposited upon silicon and stainless steel foil substrates using direct current magnetron sputtering (DcMS) and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS).  The coatings were characterized using scanning electron microscopy (SEM).  Cross-sectional scanning electron micrographs revealed that the HiPIMS coatings appeared denser than the DcMS coatings.</p>

Tantalum diffusion barrier coatings were investigated as a way to improve the conversion efficiency of CIGS (copper indium gallium diselenide) solar cells.  Tantalum coatings were deposited upon silicon and stainless steel foil substrates using direct current magnetron sputtering (DcMS) and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS).  The coatings were characterized using scanning electron microscopy (SEM).  Cross-sectional scanning electron micrographs revealed that the HiPIMS coatings appeared denser than the DcMS coatings.

Les matériaux composites présentent un intérêt dans des secteurs de pointe tel que l’aéronautique du fait de leurs propriétés. Dans le cas des composites à matrice organique renforcés par des fibres longues, les propriétés dépendent non seulement du renfort et de la matrice mais également de l’interface fibre/matrice (F/M). Ce mémoire fait état de travaux menés pour incorporer des nanotubes de carbone (NTC) alignés directement sur des fibres de carbone (FC) tissées de manière sécurisée afin d’élaborer un composite à matrice thermodurcissable et thermoplastique et d’évaluer l’effet des NTC introduits à l’interface F/M sur les propriétés électriques et mécaniques des composites. Pour cela, le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à partir d’aérosol mixte toluène/ferrocène a été développé pour la croissance de NTC alignés sur les FC, avec comme objectif la mise en place d’une procédure permettant d’éviter toute manipulation intermédiaire des produits. Il consiste à réaliser la synthèse de NTC en deux étapes successives qui sont le dépôt préalable d’une couche céramique de type SiO2 à la surface des fibres de carbone suivi de la croissance de NTC. Ce procédé a été ajusté pour permettre une croissance homogène de NTC alignés sur tissus de FC de taille suffisante pour permettre la préparation de matériaux composites. Les matériaux obtenus à l’issu de chacune des étapes ont été caractérisés en utilisant des techniques physico-chimiques complémentaires afin de comprendre le rôle de la sous-couche oxyde sur la croissance des NTC. Nous avons en particulier mis en évidence que cette dernière est modifiée lors de la croissance de NTC conduisant à la formation d’un oxyde mixte suite à l’incorporation de l’élément fer dans la sous-couche de type SiO2. Celle-ci joue alors le rôle de couche barrière de diffusion et permet une croissance de NTC alignés, denses et longs à la surface de substrats carbonés (carbone vitreux ou tissus de fibres de carbone). En outre, pour limiter les risques de dissémination de NTC dans l’atmosphère lors des manipulations des tissus de fibres recouverts de NTC pour l’élaboration des composites, nous avons réalisé une fonctionnalisation de surface des NTC afin d’encapsuler ces derniers sur le renfort fibreux. Enfin des mesures des propriétés mécaniques et électriques ont été réalisées sur les tissus présentant différents traitements et sur les matériaux composites incluant ces tissus. / Because of their properties, composite materials have attracted considerable interests in advanced technology such as in aeronautic field because of their properties. In the case of organic composite reinforced with long fibres, the properties depend not only on the reinforcements and the matrix but also on the interface between the fibre and the matrix (F/M). This thesis deals with the work led to integrate securely aligned carbon nanotubes (CNT) directly on carbon fibres (CF) in order to assess their effects on electrical and mechanical properties at the F/M interface in thermosetting and thermoplastic composite. To include aligned CNT directly on carbon substrates, the catalytic chemical vapour deposition synthesis method of CNT has been developed which consists in carrying out the synthesis in two steps in the same synthesis equipment avoiding intermediate handling. First, a deposition of oxide ceramic layer based on SiO2 is performed followed by the growth of CNT. The process has been adjusted in order to achieve a homogeneous growth of aligned CNT along the carbon fibre cloth compatible with industrial requirement for composite elaboration. Each material obtained from the different steps has been characterized with complementary physical and chemical analysis techniques in order to understand the ceramic sub-layer role on the growth of CNT. In particular, it has been pointed out that during the growth of CNT the sub-layer is modified by the incorporation of iron in the ceramic layer based SiO2, leading to the formation of mixed oxide which plays the role of diffusion barrier layer resulting in the growth of aligned, dense and long CNT on carbon substrates (glassy carbon, carbon fibre cloth). Besides, to avoid the dispersion of CNT in the atmosphere during the handling step for the elaboration of composite, a surface functionalization of CNT has been performed to encapsulate them. Finally, electrical and mechanical properties have been measured on carbon clothes exposed to different treatments and on composites reinforced with these clothes.