Le domaine des sciences et technologies Térahertz gagne un intérêt international en raison de ses nombreuses applications allant des systèmes de transmission sans fils ultra rapide au diagnostique médical, au contrôle de qualité et à la sécurité industrielle. Aujourd’hui, cet intérêt pousse la recherche en électronique à se focaliser sur la réduction des composants dans le but d’augmenter leur fréquence de fonctionnement. Les nanotechnologies sont donc au cœur de cette course à la montée en fréquence. La gamme des longueurs d'onde THz ouvre une nouvelle ère de systèmes directement liés à l'information et aux technologies de communication, étendant considérablement ceux déjà existant qui reposent sur des dispositifs optiques et électroniques. Les dispositifs THz à base de semi-conducteurs sont une des voies possibles pour la réalisation de composants à l’interface entre les micro-ondes et la phonique. L'application à grande échelle du domaine des THz pour l'astronomie, l'environnement, les communications, l'imagerie, la sécurité, la biologie et la médecine pourraient conduire à définir la gamme THz comme un champ d’application spécifique pour les chercheurs et les ingénieurs. Par exemple la spectroscopie moléculaire très importante pour l'astronomie (analyse des gaz interstellaires, observations planétaires), l'environnement (surveillance de la pollution), les télécommunications, les communications locales sécurisées (à travers une forte atténuation en dehors de la zone ciblée) à très haut débit de données sera à terme possible. L'imagerie également un élément important contribuant à la sécurité (détection d’armes et de matériel illicite, analyse non destructive et non invasive d’objets).L'un des obstacles pour le développement d’applications pratique dans la gamme du THz est le manque de sources continues, compactes, accordables et puissantes (à faible coût, si possible). Ainsi, ce travail s’inscrit dans le cadre du projet européen ROOTHz et nous proposons d'exploiter les oscillations type Gunn sur un nouveau type de nanodispositifs fabriqués pour la première fois sur du nitrure de Gallium : La diode autocommutante, ou Self switching diode (SSD). Sur la base de simulations Monte-Carlo, la géométrie particulière des SSD favorise l'apparition d'oscillations Gunn à des fréquences Térahertz, en utilisant une dyssymétrie d'un canal de type transistor assez étroit, la SSD peut fournir un comportement de redressement. Cet effet, basé sur les effets de surface et les effets électrostatiques, utilisé sur le GaN permet le fonctionnement comme détecteurs THz à température ambiante. Au cours de cette thèse, des études sur les SSD à base de nitrure de gallium ont été menées afin d'évaluer leurs potentialités comme émetteurs et détecteurs dans la gamme de fréquence du THz. / The field of Terahertz Science and Technology is gaining international interest due to its numerous applications ranging from ultra high speed optical transmission systems to medical diagnosys, industrial quality control and security-screening tools. In this field, the efforts of electronics industry are centered on device scaling down to the nanometer range to increase the operational speed.The THz range is an intermediate range of wavelengths that will open a new area of systems directly related to information and communication technologies, significantly extending the present ones based on photonic and electronic devices. Thus, solid-state THz devices can be either considered as belonging to both fields or to none of them. Indeed the wide application area of THz for astronomy, environment, communications, imaging, security, biology and medicine could lead to define the THz range as a specific scientific, engineering and application field. Molecular spectroscopy is very important for astronomy (analysis of the interstellar gas, planetary observations), environment (pollution monitoring), etc. For telecommunications, secure local communications (through high attenuation outside the targeted area) with ultrahigh data rates will be possible. Imaging is an important application for security (weapon and illicit material detection), biology and medicine. The emergence of novel functional THz devices will be of immense interest for all those applications. One of the bottlenecks for the practical development of THz applications is the fabrication of room temperature (RT), continuous wave, compact, tunable and powerful sources (at low cost, if possible). For this sake, in the framework of the EU funded project ROOTHz, we propose to exploit THz Gunn oscillations in novel wide bandgap semiconductor nanodevices, which have been predicted by simulations but not experimentally confirmed yet, the Self Switching Diode (SSD). By breaking the symmetry of a narrow channel, SSD can provide a rectifying behaviour (based on surface and electrostatic effects) and using high-mobility material systems their operation frequency as detectors can approach the THz range at RT. Interestingly, the special geometry of SSDs also benefits the onset of Gunn oscillations.During this thesis, studies on Gallium nitride SSDs have been performed in order to evaluate their potentialities as emitters and detectors in the THz frequency range.

À la base de l’évolution de la technologie microélectronique actuelle, la réduction des dimensions critiques des MOSFET standards pour améliorer leurs performances électriques a atteint depuis quelques années ses limites physiques. L’utilisation de nanocomposants innovateurs ayant une configuration planaire, comme solution de remplacement, semble être une voie prometteuse pour certaines applications. Les diodes autocommutantes, Self-Switching Diodes (SSD), en font partie. Les SSD sont des composants unipolaires à deux accès ayant une caractéristique I-V non-linéaire semblable à celle d’une diode bipolaire. Leur configuration planaire rend leur fabrication plus facile et réduit considérablement les capacités parasites intrinsèques. Cette thèse porte sur la fabrication, la simulation et la caractérisation électrique de SSD fabriquées sur des substrats en SOI (Silicon-On-Insulator). Les dispositifs SSD ont été réalisés au départ grâce à des gravures par FIB (Focussed Ion Beam). Cette technique polyvalente nous permet de contrôler en temps réel les conditions de gravure. Par la suite, nous avons procédé à une fabrication massive de SSD en utilisant la technique d’électrolithographie et de gravure sèche. Les simulations effectuées principalement avec TCAD-Medici nous ont permis d’optimiser et d’investiguer en détails l’effet critique des paramètres géométriques (longueur, largeur et épaisseur du canal conducteur ainsi que la largeur des tranchées isolantes) et des paramètres physiques (densité surfacique aux niveaux des interfaces isolant/semiconducteur, densité des dopants et type de diélectrique dans les tranchées isolantes) des SSD sur les caractéristiques électriques, les valeurs de la tension seuil et les phénomènes de transport non linéaire qui ont lieu dans le canal conducteur de ce type de composants. Les mesures expérimentales de caractéristiques I-V de SSD ayant des canaux conducteurs de largeurs et de longueurs variables confirment les prévisions de nos simulations. Bien que le comportement électrique des SSD ressemble à celui d’un MISFET, nous démontrons le fait que l’on ne peut modéliser leurs caractéristiques I-V avec les mêmes expressions en nous basant sur le principe de fonctionnement spécifique à chacun de ces deux dispositifs.