Les microsystèmes électrostatiques se sont développés depuis une vingtaine d'année et ont constitué un événement marquant du développement technologique. La présentation abordera les travaux effectués en termes de modélisation du micro usinage de volume et en termes de développement technologique relatif au micro usinage de surface. Elle s'appuiera également sur des exemples de microsystèmes opto électro mécaniques à vocation applicatives tant dans le domaine des télécommunications que des applications militaires. Les prospectives de recherches aborderont les nouveaux développements relatifs à l'introduction des matériaux polymères dans les technologies silicium tout en restant dans le cadre des applications à l'optique.

La modélisation par éléments finis des conducteurs en mouvement nécessite généralement des calculs successifs et le remalliage de certaines régions. Une modélisation 3D de géométries complexes par les techniques classiques nécessite dès lors de gros efforts en terme de temps de calcul. Dans cette thèse, une méthode originale basée sur une approche par sous-problèmes, appelée méthode de perturbation, a été développée. Utilisant la méthode des éléments finis, cette technique consiste à subdiviser un problème entier en sous-problèmes. La complexité du problème initial est par conséquent diminuée en ne se concentrant que sur les zones les plus pertinentes. Appliquée aux systèmes en mouvement, la méthode de perturbation permet d'exploiter les résolutions antérieures au lieu d'effectuer un nouveau calcul pour chaque position. L'analyse par la méthode de perturbation des microsystèmes électromécaniques (MEMS) électrostatiques comprenant des parties en déplacement ou en déformation est en outre considérée dans ce travail. Il est notamment question de démontrer l'implication naturelle de cette approche pour des simulations plus efficaces et plus précises des MEMS électrostatiques.