O estudo das ligas de Heusler tem despertado grande interesse devido às diversas funcionalidades que as propriedades destas ligas proporcionam. Essas ligas em particular, apresentam comportamentos de semi-metais1 ferromagnéticos, polarização total de spin e estruturas atômicas superordenadas, aspectos que ainda representam novidades no campo de pesquisas [1-3]. Neste trabalho foi investigada a influência dos parâmetros de crescimento nas propriedades magnéticas e estruturais de filmes finos de ligas de Heusler a base de Co-Fe-Al. Os filmes foram obtidos por codeposição via pulverização catódica utilizando alvos dos elementos puros (Co, Fe e Al) e de ligas de FeAl e caracterizados por espectroscopia Mössbauer por elétrons de conversão (CEMS), difração de raios X em ângulo rasante GIXRD e magnetometria de amostra vibrante (VSM). Os nossos resultados mostraram que os filmes de CoFeAl obtidos via codeposição de dois alvos (Co e FeAl), formam mais de uma fase, identificadas por CEMS como CoFeAl, com estrutura tipo B2/ L21 e FeAl (clusters). Por outro lado, os filmes de CoFeAl obtidos por codeposição de três alvos dos elementos puros (Co, Fe e Al) apresentaram somente a fase de CoFeAl com estrutura do tipo L21 com alto grau de ordenamento químico. Não foi observado a formação de clusters (FeAl). Os filmes Co2FeAl como obtidos por codeposição a partir de dois alvos (Co e FeAl) formam mais de uma fase de Co2FeAl com estruturas desordenados do tipo A2 e B2. Por outro lado, os filmes de Co2FeAl (3 alvos) apresentaram uma única fase com alto grau de ordenamento, possivelmente com estrutura do tipo L21. / Studies of Heusler alloys have attracted great interest due to several features provided by these alloys. They exhibit half-metallic ferromagnetism, high spin polarization and ordered atomic structures, properties that still represent new aspects in the field of research [1-3]. In this study, we investigated the growth parameters influence on the magnetic and structural properties of Heusler alloys thin films based on Fe-Co-Al. The films were obtained by co-deposition via sputtering with targets of pure elements (Co, Fe and Al) and FeAl alloys. Conversion Electron Mössbauer Spectroscopy (CEMS), Grazing Incidence X-ray Diffraction (GIXRD) and Vibrating Sample Magnetometer (VSM) were used to characterize such films. CEMS results of CoFeAl films obtained by co-deposition of two targets (FeAl and Co) showed more than one CoFeAl phase with B2 - L21 structures and clusters of FeAl. Samples grown by three pure targets (Co, Fe and Al) had only one phase formation of L21-type structure with a high chemical order, and clusters (FeAl) were not observed. Co2FeAl films obtained by co-deposition from two targets (Co and FeAl) had more than one phase with A2 and B2 disordered structures. In addition, Co2FeAl films grown by three targets showed single phase with high chemical order, indicating L21-type structure.