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Desenvolvimento de funções de base GTO : aplicação de metodo da coordenada geradora atraves da tecnica de discretização integral otimizada

Santos, Marcelo Giordan 15 July 2018 (has links)
Orientador : Rogerio Custodio / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Quimica / Made available in DSpace on 2018-07-15T22:43:52Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Santos_MarceloGiordan_M.pdf: 10370004 bytes, checksum: 7ff9b2ce7100faaa172e166f9f8c670f (MD5) Previous issue date: 1992 / Mestrado
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Espalhamento quase-livre e estrutura nuclear

Jacob, Gerhard January 1964 (has links)
Apresenta-se uma revisão crítica dos resultados experimentais e dos cálculos teóricos em processos de espalhamento quase-livre. Inicialmente descreve-se o processo quase-livre qualitativamente e mostra-se que os resultados podem ser esperados de tais processos. A seguir, usando argumentos físicos, deduz-se a aproximação normalmente utilizada na análise dos dados experimentais, qual seja a aproximação de impulso com ondas distorcidas, e indica-se como são realizados os cálculos teóricos. Posteriormente, analisam-se os resultados experimentais e teóricos obtidos até o presente de reações (p, 2p) para todos os núcleos com número atômico entre Z = 1 e Z = 20 (com exceção de Z = 10) e comentam-se resumidamente alguns resultados para os núcleos com número atômico entre Z = 21 e Z = 33. Finalmente, mostra-se a importância dos processos (p, 2p) para o estudo da estrutura nuclear, sistematizam-se os resultados obtidos de espectro de energia e de distribuições de correlação angular e fazem-se sugestões para outras investigações. / A critical review of the experimental results and of the theoretical. The quasi-free process is first described qualitatively and it is shown which results can be expected from such processes. The distorted wave impulse approximation, normally used in the analysis of the experimental data, is derived using physical arguments, and the way of performing theoretical caculations is described. The experimental and theoretical results obtained up to now from (p, 2p) reactions are analysed for each nucleus with atomic number between Z = 1 and Z = 20 (except the case Z = 10) and some results obtained for nuclei with atomic number between Z = 21 and Z = 33 are briefly commented. Finally, the importance of (p, 2p) processes for the study of nuclear structure is shown, a systematization of the results obtained from energy spectra and angular correlation distributions is performed and suggestions for further work are made.
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Espalhamento quase-livre e estrutura nuclear

Jacob, Gerhard January 1964 (has links)
Apresenta-se uma revisão crítica dos resultados experimentais e dos cálculos teóricos em processos de espalhamento quase-livre. Inicialmente descreve-se o processo quase-livre qualitativamente e mostra-se que os resultados podem ser esperados de tais processos. A seguir, usando argumentos físicos, deduz-se a aproximação normalmente utilizada na análise dos dados experimentais, qual seja a aproximação de impulso com ondas distorcidas, e indica-se como são realizados os cálculos teóricos. Posteriormente, analisam-se os resultados experimentais e teóricos obtidos até o presente de reações (p, 2p) para todos os núcleos com número atômico entre Z = 1 e Z = 20 (com exceção de Z = 10) e comentam-se resumidamente alguns resultados para os núcleos com número atômico entre Z = 21 e Z = 33. Finalmente, mostra-se a importância dos processos (p, 2p) para o estudo da estrutura nuclear, sistematizam-se os resultados obtidos de espectro de energia e de distribuições de correlação angular e fazem-se sugestões para outras investigações. / A critical review of the experimental results and of the theoretical. The quasi-free process is first described qualitatively and it is shown which results can be expected from such processes. The distorted wave impulse approximation, normally used in the analysis of the experimental data, is derived using physical arguments, and the way of performing theoretical caculations is described. The experimental and theoretical results obtained up to now from (p, 2p) reactions are analysed for each nucleus with atomic number between Z = 1 and Z = 20 (except the case Z = 10) and some results obtained for nuclei with atomic number between Z = 21 and Z = 33 are briefly commented. Finally, the importance of (p, 2p) processes for the study of nuclear structure is shown, a systematization of the results obtained from energy spectra and angular correlation distributions is performed and suggestions for further work are made.
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Espalhamento quase-livre e estrutura nuclear

Jacob, Gerhard January 1964 (has links)
Apresenta-se uma revisão crítica dos resultados experimentais e dos cálculos teóricos em processos de espalhamento quase-livre. Inicialmente descreve-se o processo quase-livre qualitativamente e mostra-se que os resultados podem ser esperados de tais processos. A seguir, usando argumentos físicos, deduz-se a aproximação normalmente utilizada na análise dos dados experimentais, qual seja a aproximação de impulso com ondas distorcidas, e indica-se como são realizados os cálculos teóricos. Posteriormente, analisam-se os resultados experimentais e teóricos obtidos até o presente de reações (p, 2p) para todos os núcleos com número atômico entre Z = 1 e Z = 20 (com exceção de Z = 10) e comentam-se resumidamente alguns resultados para os núcleos com número atômico entre Z = 21 e Z = 33. Finalmente, mostra-se a importância dos processos (p, 2p) para o estudo da estrutura nuclear, sistematizam-se os resultados obtidos de espectro de energia e de distribuições de correlação angular e fazem-se sugestões para outras investigações. / A critical review of the experimental results and of the theoretical. The quasi-free process is first described qualitatively and it is shown which results can be expected from such processes. The distorted wave impulse approximation, normally used in the analysis of the experimental data, is derived using physical arguments, and the way of performing theoretical caculations is described. The experimental and theoretical results obtained up to now from (p, 2p) reactions are analysed for each nucleus with atomic number between Z = 1 and Z = 20 (except the case Z = 10) and some results obtained for nuclei with atomic number between Z = 21 and Z = 33 are briefly commented. Finally, the importance of (p, 2p) processes for the study of nuclear structure is shown, a systematization of the results obtained from energy spectra and angular correlation distributions is performed and suggestions for further work are made.
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Estados estacionários de duas partículas de DIRAC em um centro coulombiano / Stationary states of two Dirac particles in a Coulomb field

Yamamoto, Jorge Futoshi 13 September 1991 (has links)
A proposta do trabalho e obter os valores dos níveis de energia do átomo de hélio ou de íons tipo hélio por meio de um hamiltoniano modelo que descreve os estados estacionários de um sistema de duas partículas de dirac em um centro coulombiano. A função de onda total e escrita como uma combinação de produtos diretos anti-simetrizados de bispinores similares as soluções para uma partícula. Parte dos espectros do átomo de hélio e do SI POT.12+ para os momentos angulares totais J = 0, 1, 2 (paridades par e ímpar, respectivamente) são obtidos. / The helium and helium-like ions energy levels are evaluated using a Hamiltonian operator that describes the stationary states of two-DIRAC particles system in an external Coulomb field. The total wave function of the system is an anti-simmetrized combination of tensor products of bispinors, similar to the one-particle DIRAC solutions. The partial helium and 51 12+ spectra are obtained for the total angular momenta J = 0,1,2 (even and odd parities, respectively).
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Estados estacionários de duas partículas de DIRAC em um centro coulombiano / Stationary states of two Dirac particles in a Coulomb field

Jorge Futoshi Yamamoto 13 September 1991 (has links)
A proposta do trabalho e obter os valores dos níveis de energia do átomo de hélio ou de íons tipo hélio por meio de um hamiltoniano modelo que descreve os estados estacionários de um sistema de duas partículas de dirac em um centro coulombiano. A função de onda total e escrita como uma combinação de produtos diretos anti-simetrizados de bispinores similares as soluções para uma partícula. Parte dos espectros do átomo de hélio e do SI POT.12+ para os momentos angulares totais J = 0, 1, 2 (paridades par e ímpar, respectivamente) são obtidos. / The helium and helium-like ions energy levels are evaluated using a Hamiltonian operator that describes the stationary states of two-DIRAC particles system in an external Coulomb field. The total wave function of the system is an anti-simmetrized combination of tensor products of bispinors, similar to the one-particle DIRAC solutions. The partial helium and 51 12+ spectra are obtained for the total angular momenta J = 0,1,2 (even and odd parities, respectively).
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Determinação do arranjo atômico da superfície de novos catalisadores modelo por difração de fotoelétrons

Kilian, Alex Sandre January 2014 (has links)
Esta tese trata da determinação do arranjo atômico de superfícies nanoestruturadas por difração de fotoelétrons, onde foram estudados os catalisadores modelo Au/Cr2O3/Pd(111) e Pt/Cr2O3/Ag(111), e as superfícies Cr2O3(0001) e SrTiO3(111). Os sistemas foram produzidos in situ por técnicas de deposição MBE (Molecular Beam Epitaxy), e as caracterizações foram baseadas em técnicas de Física de Superfícies, tais como, LEED (Low Energy Electron Diffraction), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) e XPD (X-ray Photoelectron Diffraction). A composição dos filmes e suas espessuras foram determinadas por XPS. O ordenamento cristalográfico das superfícies foi averiguado com a técnica LEED. O estudo da estrutura cristalina e arranjo atômico das superfícies foram realizados com a técnica XPD, e as simulações computacionais feitas com o programa MSCD (Multiple Scattering Calculation of Diffraction). Este trabalho teve a vantagem de ser específico ao elemento, com informação a curto alcance obtido dos experimentos de XPD, e confirmado por uma abordagem de cálculo de espalhamento múltiplo com o MSCD. Os resultados mostraram que o sistema Cr2O3/Ag(111) apresentou superfície com orientação na direção [0001] e com terminação de oxigênio devido as condições de preparação usadas neste trabalho. Para o catalisador modelo Pt/Cr2O3/Ag(111), a deposição de Pt sobre a superfície do Cr2O3 formou estruturas com três monocamadas, com empacotamento fcc orientada na direção [111], e apresentou mudanças nas distâncias interplanares e atômicas laterais, se comparadas ao valor “bulk” do Pt. Os experimentos indicaram a formação de ilhas bidimensionais de Au, com empacotamento fcc orientado na direção [111] seguido de importante relaxação estrutural nas três camadas atômicas da superfície do catalisador modelo Au/Cr2O3/Pd(111). O método de preparação aplicado ao SrTiO3(111) formou uma superfície com a coexistência de duas estruturas, 30% com terminação de SrOx e 70% de TiO2, acompanhado de modificações nas distâncias interplanares da superfície. O conhecimento dos parâmetros estruturais e eletrônicos da superfície de óxidos de metais de transição e catalisadores modelo, e sua a relação com os métodos de preparação das amostras são primordiais, uma vez que tais modificações podem promover, influenciar e explicar fenômenos com aplicação tecnológica nas mais diversas áreas da ciência. / This thesis presents a determination of the atomic arrangement of nanostructured surfaces by photoelectron diffraction, where the model catalysts Pt/Cr2O3/Ag(111) and Au/Cr2O3/Pd(111), and the surfaces Cr2O3(0001) and SrTiO3(111) were studied. The model catalyst was produced in situ by MBE (Molecular Beam Epitaxy) deposition technique, and the characterizations were based on techniques of Surface Physics, such as LEED (Low Energy Electron Diffraction), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) and XPD (X-ray Photoelectron Diffraction). The composition of the film was determined by XPS, the crystallographic ordering of the film was examined by LEED. The study of crystal structure and atomic arrangement of the surface was performed using XPD, and the computer simulations with MSCD (Multiple Scattering Calculation of Diffraction) program. This study had the advantage of be element-specific short-range order information obtained from XPD experiments, supported by a comprehensive multiple scattering calculation diffraction approach. The results show that the Cr2O3/Ag(111) was oriented along the [0001] direction with an oxygen surface termination under the preparation conditions used in the present work. For the model catalyst Pt/Cr2O3/Ag(111), the deposition of Pt atoms on the Cr2O3 surface formed a three-monolayer structures, fcc packed and oriented in the [111] direction, which presented changes in monolayer spacing and lateral atomic distance compared to the expected values for bulk Pt. The experiments indicated that the islands are constructed of two Au monolayers with fcc packed and oriented in the [111] direction and formed by the important structural relaxations in the three outermost atomic layers of the Au/Cr2O3/Ag(111) model catalyst surface. The method of preparation applied to SrTiO3(111), formed a surface with coexistence of both structures, 30% with termination in SrOx and 70% with termination in Ti, TiO2 predominantly on the top surface, followed by changes in the interplanar spacing of the surface. Knowledge of the structural and electronic parameters of the surfaces, such as transition metal oxide and model catalysts, and its relationship with the methods of sample preparation are the key, since such modifications can promote, influence and explain phenomena with technological application in several areas of science.
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Determinação do arranjo atômico da superfície de novos catalisadores modelo por difração de fotoelétrons

Kilian, Alex Sandre January 2014 (has links)
Esta tese trata da determinação do arranjo atômico de superfícies nanoestruturadas por difração de fotoelétrons, onde foram estudados os catalisadores modelo Au/Cr2O3/Pd(111) e Pt/Cr2O3/Ag(111), e as superfícies Cr2O3(0001) e SrTiO3(111). Os sistemas foram produzidos in situ por técnicas de deposição MBE (Molecular Beam Epitaxy), e as caracterizações foram baseadas em técnicas de Física de Superfícies, tais como, LEED (Low Energy Electron Diffraction), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) e XPD (X-ray Photoelectron Diffraction). A composição dos filmes e suas espessuras foram determinadas por XPS. O ordenamento cristalográfico das superfícies foi averiguado com a técnica LEED. O estudo da estrutura cristalina e arranjo atômico das superfícies foram realizados com a técnica XPD, e as simulações computacionais feitas com o programa MSCD (Multiple Scattering Calculation of Diffraction). Este trabalho teve a vantagem de ser específico ao elemento, com informação a curto alcance obtido dos experimentos de XPD, e confirmado por uma abordagem de cálculo de espalhamento múltiplo com o MSCD. Os resultados mostraram que o sistema Cr2O3/Ag(111) apresentou superfície com orientação na direção [0001] e com terminação de oxigênio devido as condições de preparação usadas neste trabalho. Para o catalisador modelo Pt/Cr2O3/Ag(111), a deposição de Pt sobre a superfície do Cr2O3 formou estruturas com três monocamadas, com empacotamento fcc orientada na direção [111], e apresentou mudanças nas distâncias interplanares e atômicas laterais, se comparadas ao valor “bulk” do Pt. Os experimentos indicaram a formação de ilhas bidimensionais de Au, com empacotamento fcc orientado na direção [111] seguido de importante relaxação estrutural nas três camadas atômicas da superfície do catalisador modelo Au/Cr2O3/Pd(111). O método de preparação aplicado ao SrTiO3(111) formou uma superfície com a coexistência de duas estruturas, 30% com terminação de SrOx e 70% de TiO2, acompanhado de modificações nas distâncias interplanares da superfície. O conhecimento dos parâmetros estruturais e eletrônicos da superfície de óxidos de metais de transição e catalisadores modelo, e sua a relação com os métodos de preparação das amostras são primordiais, uma vez que tais modificações podem promover, influenciar e explicar fenômenos com aplicação tecnológica nas mais diversas áreas da ciência. / This thesis presents a determination of the atomic arrangement of nanostructured surfaces by photoelectron diffraction, where the model catalysts Pt/Cr2O3/Ag(111) and Au/Cr2O3/Pd(111), and the surfaces Cr2O3(0001) and SrTiO3(111) were studied. The model catalyst was produced in situ by MBE (Molecular Beam Epitaxy) deposition technique, and the characterizations were based on techniques of Surface Physics, such as LEED (Low Energy Electron Diffraction), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) and XPD (X-ray Photoelectron Diffraction). The composition of the film was determined by XPS, the crystallographic ordering of the film was examined by LEED. The study of crystal structure and atomic arrangement of the surface was performed using XPD, and the computer simulations with MSCD (Multiple Scattering Calculation of Diffraction) program. This study had the advantage of be element-specific short-range order information obtained from XPD experiments, supported by a comprehensive multiple scattering calculation diffraction approach. The results show that the Cr2O3/Ag(111) was oriented along the [0001] direction with an oxygen surface termination under the preparation conditions used in the present work. For the model catalyst Pt/Cr2O3/Ag(111), the deposition of Pt atoms on the Cr2O3 surface formed a three-monolayer structures, fcc packed and oriented in the [111] direction, which presented changes in monolayer spacing and lateral atomic distance compared to the expected values for bulk Pt. The experiments indicated that the islands are constructed of two Au monolayers with fcc packed and oriented in the [111] direction and formed by the important structural relaxations in the three outermost atomic layers of the Au/Cr2O3/Ag(111) model catalyst surface. The method of preparation applied to SrTiO3(111), formed a surface with coexistence of both structures, 30% with termination in SrOx and 70% with termination in Ti, TiO2 predominantly on the top surface, followed by changes in the interplanar spacing of the surface. Knowledge of the structural and electronic parameters of the surfaces, such as transition metal oxide and model catalysts, and its relationship with the methods of sample preparation are the key, since such modifications can promote, influence and explain phenomena with technological application in several areas of science.
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Determinação do arranjo atômico da superfície de novos catalisadores modelo por difração de fotoelétrons

Kilian, Alex Sandre January 2014 (has links)
Esta tese trata da determinação do arranjo atômico de superfícies nanoestruturadas por difração de fotoelétrons, onde foram estudados os catalisadores modelo Au/Cr2O3/Pd(111) e Pt/Cr2O3/Ag(111), e as superfícies Cr2O3(0001) e SrTiO3(111). Os sistemas foram produzidos in situ por técnicas de deposição MBE (Molecular Beam Epitaxy), e as caracterizações foram baseadas em técnicas de Física de Superfícies, tais como, LEED (Low Energy Electron Diffraction), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) e XPD (X-ray Photoelectron Diffraction). A composição dos filmes e suas espessuras foram determinadas por XPS. O ordenamento cristalográfico das superfícies foi averiguado com a técnica LEED. O estudo da estrutura cristalina e arranjo atômico das superfícies foram realizados com a técnica XPD, e as simulações computacionais feitas com o programa MSCD (Multiple Scattering Calculation of Diffraction). Este trabalho teve a vantagem de ser específico ao elemento, com informação a curto alcance obtido dos experimentos de XPD, e confirmado por uma abordagem de cálculo de espalhamento múltiplo com o MSCD. Os resultados mostraram que o sistema Cr2O3/Ag(111) apresentou superfície com orientação na direção [0001] e com terminação de oxigênio devido as condições de preparação usadas neste trabalho. Para o catalisador modelo Pt/Cr2O3/Ag(111), a deposição de Pt sobre a superfície do Cr2O3 formou estruturas com três monocamadas, com empacotamento fcc orientada na direção [111], e apresentou mudanças nas distâncias interplanares e atômicas laterais, se comparadas ao valor “bulk” do Pt. Os experimentos indicaram a formação de ilhas bidimensionais de Au, com empacotamento fcc orientado na direção [111] seguido de importante relaxação estrutural nas três camadas atômicas da superfície do catalisador modelo Au/Cr2O3/Pd(111). O método de preparação aplicado ao SrTiO3(111) formou uma superfície com a coexistência de duas estruturas, 30% com terminação de SrOx e 70% de TiO2, acompanhado de modificações nas distâncias interplanares da superfície. O conhecimento dos parâmetros estruturais e eletrônicos da superfície de óxidos de metais de transição e catalisadores modelo, e sua a relação com os métodos de preparação das amostras são primordiais, uma vez que tais modificações podem promover, influenciar e explicar fenômenos com aplicação tecnológica nas mais diversas áreas da ciência. / This thesis presents a determination of the atomic arrangement of nanostructured surfaces by photoelectron diffraction, where the model catalysts Pt/Cr2O3/Ag(111) and Au/Cr2O3/Pd(111), and the surfaces Cr2O3(0001) and SrTiO3(111) were studied. The model catalyst was produced in situ by MBE (Molecular Beam Epitaxy) deposition technique, and the characterizations were based on techniques of Surface Physics, such as LEED (Low Energy Electron Diffraction), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) and XPD (X-ray Photoelectron Diffraction). The composition of the film was determined by XPS, the crystallographic ordering of the film was examined by LEED. The study of crystal structure and atomic arrangement of the surface was performed using XPD, and the computer simulations with MSCD (Multiple Scattering Calculation of Diffraction) program. This study had the advantage of be element-specific short-range order information obtained from XPD experiments, supported by a comprehensive multiple scattering calculation diffraction approach. The results show that the Cr2O3/Ag(111) was oriented along the [0001] direction with an oxygen surface termination under the preparation conditions used in the present work. For the model catalyst Pt/Cr2O3/Ag(111), the deposition of Pt atoms on the Cr2O3 surface formed a three-monolayer structures, fcc packed and oriented in the [111] direction, which presented changes in monolayer spacing and lateral atomic distance compared to the expected values for bulk Pt. The experiments indicated that the islands are constructed of two Au monolayers with fcc packed and oriented in the [111] direction and formed by the important structural relaxations in the three outermost atomic layers of the Au/Cr2O3/Ag(111) model catalyst surface. The method of preparation applied to SrTiO3(111), formed a surface with coexistence of both structures, 30% with termination in SrOx and 70% with termination in Ti, TiO2 predominantly on the top surface, followed by changes in the interplanar spacing of the surface. Knowledge of the structural and electronic parameters of the surfaces, such as transition metal oxide and model catalysts, and its relationship with the methods of sample preparation are the key, since such modifications can promote, influence and explain phenomena with technological application in several areas of science.
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Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD / Study of the chemical, morphological, and structural properties of silicon oxynitride deposited by PECVD

Scopel, Wanderlã Luis 12 August 2002 (has links)
Neste trabalho, filmes amorfos de oxinitreto de silício (alfa-SiO IND.XN IND.Y:H) foram crescidos pelo processo de Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) a temperatura da 320ºC. No processo de deposição foi utilizada a mistura dos gases óxido nitroso (N IND.2O) e silano (SiH IND.4), variando-se a razão entre os seus fluxos (Re= N2O/SiH4) num intervalo de 0,25 Re 5,00. Foram obtidos filmes com diferentes composições químicas, sendo ricos em O (65 at.%) para Re 2,00 e ricos em Si (44 at. %) para Re 1,50. A técnica de Rutherford backscattering spectroscopy (RBS) foi utilizada para determinar a composição química dos filmes. Os dados de RBS mostram um decréscimo da quantidade de O, enquanto que as quantidades de Si e N aumentam com o decréscimo de Re. A morfologia dos filmes foi estudada por Small Angell X-ray scattering (SAXS), Transmissio Electron Microscopy (TEM) e medida de densidade pelo método de flutuação. Os dados de SAXS revelam a presença de centros espalhadores com raio médio que varia de 10 Ã a 100 Ã. Os resultados de TEM mostram a presença de aglomerados esféricos dispersos numa matriz de mesmas espécies atômicas. A concentração de poros nos filmes é inferior a 10% e diminui com o aumento do conteúdo de oxigênio. Tanto a estrutura de ordem local quanto as ligações químicas foram investigadas pelas técnicas de X-ray Absorption Near Edge Structure (XANES), Extented X-ray Absorption Fine Structure (EXAFS) e Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR). foi desenvolvido um potencial modelo de interação para simular a estrutura atômica do oxinitreto de silício amorfo e compará-la com os dados experimentais. As simulações computacionais foram realizadas utilizando o método de Monte Carlo (MC)-Metropolis. A análise estrutural das amostras ricas em O, tanto do ponto de vista experimental quanto teórico (obtidos por MC), mostram que a estrutura básica da rede é um tetraedro, onde o átomo central é o Si conectado por O e N. Os resultados experimentais das amostras ricas em si, apontam para a formação de agregados de Si, embebidos dentro de uma matriz de Si-O-N. Tratamentos térmicos a vácuo em temperaturas entre 550 e 1000 ºC promovem a efusão de hidrogênio e segregação de diferentes fases. / In this work, thin films of amorphous silicon oxynitride(alfa-SiOxNy:H) were deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) at 320 ºC. In the deposition process a mixture of nitrous oxide (N2O) and silane (SiH4) was used, varying their flow ratio (Re= N2O/SiH4) in an interval of 0,25 Re 5,00. Films with different chemical composition were obtained, being O-rich (65 at.%) for Re 2,00 and Si-rich (44 at.%) for Re 1,50. The Rutherford backscattering spectroscopy (RBS) was used to determine the atomic content of the films. The RBS data showed a decrease of the oxygen content while the Si and N contents increase with the decrease of Re. The films morphology was studied by Small Angle X-ray scattering (SAXS), Transmission Electron Microscopy (TEM) and density measurements by the flotation method. The SAXS data revealed the presence of scattering centers with mean radius from 10 Ã to 100 Ã. The TEM data showed the presence of spherical clusters dispersed in a matrix of the same atomic species. The concentration of pores in the material is less than 10% and decreases with the increase of oxygen content. The local atomic structure and chemical bonds were investigated by X-ray Absorption Near Edge Structure (XANES), Extended X-ray Absorption Fine Structure (EXAFS) and Fourier Transform Infrared spectroscopy (FTIR). A model of interatomic potential was developed to simulate the atomic structure of the amorphous silicon oxynitride in order to be compared with the experimental data. The computer simulations were performed by the Monte Carlo (MC) Metropolis method. The structural analysis of the O-rich samples, obtained by both experimental and theoretical simulations (obtained by MC), showed that the basic structure of the network is tetrahedral, being Si the central atom connected by O and N. The experimental results of the Si-rich samples indicate the formation of Si aggregates, embedded in a Si-O-N matrix. Annealing in vacuum, at temperatures between 550 e 1000 ºC, promoted hydrogen effusion and segregation of different phases.

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