Orientador: Mario A. Bica de Moraes / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleg Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-13T23:13:39Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Eleuterio_RosaneParissari_M.pdf: 2132602 bytes, checksum: 7e969668476523f09ff337e74d65061c (MD5) Previous issue date: 1991 / Resumo: Filmes finos compósitos de acetileno polimerizado-paládio-carbono foram obtidos pelo processo combinado de polimerização à plasma e sputtering. O plasma foi produzido numa câmara de vácuo com um sistema de eletrodos circulares e paralelos, alimentados por uma fonte de tensão de corrente continua. Um dos eletrodos foi revestido com paládio e a deposição dos filmes era feita em substratos colocados no eletrodo oposto (anodo). Acetileno foi empregado como gás de polimerização misturado com argônio. Este último promovia o sputtering do cátodo de paládio. O processo de deposição foi monitorado por espectroscopia óptica de Emissão, pela detecção de espécies químicas presentes no plasma através de suas linhas de emissão. Da análise dos sinais de emissão de paládio, hidrogênio e argônio foram determinadas as concentrações relativas de paládio e hidrogênio na fase gasosa. A composição dos filmes foi estudada por Espectroscopia Infravermelha de Transmissão e Difração de Elétrons; a estrutura por Microscopia Eletrônica de Transmissão e a proporção de metal no filme foi determinada por Microanálise Eletrônica. Algumas das características apresentadas pelos filmes foram correlacionadas com os parâmetros ópticos observados. Do estudo da condutividade elétrica em função da temperatura vimos que o mecanismo de condução que melhor se aplica aos filmes é o de tunelamento de elétrons entre ilhas metálicas / Abstract: Polymer-metal-carbon composite thin films were prepared by combined plasma polymerization and sputtering processes. The plasma was produced in a vacuum chamber by a system of circular parallel electrodes connected to a DC power supply. One of the electrodes was covered with a palladium sheet (cathode) and the film deposition was made in substrates placed on the opposite electrode (anode). Acetylene was employed as a polymerization gas, mixed with argon. The latter produced the sputtering of the cathode. Optical Emission Spectroscopy has been used for monitoring the deposition process by the observation of emission lines of the chemical species in the plasma. By the analysis of the emission signals of palladium, hydrogen and argon, the relative variations of the gas phase concentration of palladium and hydrogen were observed as a function of the plasma conditions. The composition of the films was studied by Infrared Spectroscopy and Electron Diffraction; the film structure was studied by Transmission Electron Microscopy and the volume fraction of metal in the film was determined by Electron Probe Microanalysis. Some of the properties presented by the films were related to the optically observed parameters. The behavior or the electrical conductivity with temperature strongly indicates that the electrical conduction in the films is due to electron tunneling between metal islands / Mestrado / Física / Mestre em Física