In der vorliegenden Arbeit erhält der Leser einen Überblick über kapazitive mikromechanische Beschleunigungssensoren. Neben aktuellen Entwicklungen und möglichen Einsatzfeldern werden auch die grundlegende Funktion sowie die Herstellung kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensoren thematisiert. Vorgestellt werden dabei unter anderem verschiedene Technologiekonzepte, mit deren Hilfe sich MEMS-Beschleunigungssensoren fertigen lassen. Darüber hinaus zeigt die Arbeit auf, wie sich die Funktion, die Qualität und die Zuverlässigkeit mikromechanischer Beschleunigungssensoren durch die konstruktive Gestaltung wesentlicher Sensorbestandteile positiv beeinflussen lassen. Betrachtet werden in diesem Zusammenhang Elektroden, Federaufhängungen, mechanische Anschläge und Massekörper. Durch die Klassifizierung kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensoren und durch die Betrachtung möglicher Verfahren zur Kapazitäts-Spannungswandlung wird sowohl Entwicklern als auch Anwendern die Auswahl einer geeigneten Sensorarchitektur bzw. eines geeigneten Sensors erleichtert. Ebenfalls relevant für die Entwicklung und Anwendung mikromechanischer Sensoren sind die in dieser Arbeit zusammengetragenen Aspekte zur Qualität und Zuverlässigkeit.:Formelzeichen und Abkürzungen 1 Einführung 1.1 Entwicklungen und Trends 1.2 Inhaltsübersicht 2 Funktionsprinzip 2.1 Übertragungsverhalten 2.1.1 Das Feder-Masse-Dämpfer-System 2.1.2 Die veränderliche Kapazität 2.2 Spezielle Effekte 2.2.1 Pull-In-Effekt 2.2.2 Elektrostatische Federerweichung 3 Fertigungstechnologien 3.1 Technologiekonzepte 3.1.1 Polysilizium-Technologie 3.1.2 Volumenmikromechanik 3.1.3 SCREAM-Technologie 3.1.4 SOI-Technologie 3.1.5 BDRIE-Technologie 3.1.6 AIM-Technologie 3.1.7 Mischtechnologien 3.2 Gedanken zur Technologieauswahl 4 Form- und Funktionselemente 4.1 Elektroden 4.1.1 In-plane Elektroden 4.1.2 Out-of-plane Elektroden 4.1.3 Berücksichtigung elektrischer Streufelder 4.2 Federn 4.2.1 Gerade Biegung 4.2.2 Schiefe Biegung 4.2.3 Lastfall Torsion 4.2.4 Eigenschaften mikromechanischer Federn 4.3 Mikromechanische Massekörper 4.4 Mikromechanische Anschläge 4.4.1 In-plane Anschläge 4.4.2 Out-of-plane Anschläge 5 Klassifizierung von Sensoren 5.1 Anzahl der Detektionsachsen 5.2 Anzahl der Massekörper 5.2.1 Anzahl der pro Massekörper erfassbaren Detektionsachsen 5.2.2 Elektrische Auswertung der Sensorkapazitäten 5.3 Messbereich 6 ASIC-MEMS-Interface 6.1 Kapazitätsanordnungen 6.2 Wandlerprinzipien 6.2.1 Transimpedanzwandler 6.2.2 Ladungsverstärker 6.2.3 Switched-Capacitor-Technik 6.3 Kapazitätsmessverfahren 6.3.1 Gleichspannungsschaltung 6.3.2 Modulationsverfahren basierend auf Synchrondemodulation 6.3.3 Sigma-Delta-Wandler 7 Zuverlässigkeit und Qualitätssicherung 7.1 Standards und Verfahren der Mikroelektronik 7.2 MEMS spezifische Aspekte der Zuverlässigkeit 7.2.1 Klebebedingte Ausfälle 7.2.2 Bruchbedingte Ausfälle 7.2.3 Partikel 8 Zusammenfassung und Ausblick Anlagen A1 Unterschied zwischen Kraft- und Stützenerregung Literatur Thesen