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1

Die SOI-Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium-Membranmasken

Butschke, Jörg. January 2003 (has links) (PDF)
Stuttgart, Universiẗat, Diss., 2003.
Maske <Halbleitertechnologie>
2

Die SOI-Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium-Membranmasken /

Butschke, Jörg. January 2003 (has links)
Stuttgart, Universiẗat, Diss., 2003.
Maske <Halbleitertechnologie>
3

UHV-STM-Schreiben von Nanostrukturen in selbstorganisierte Monoschichten und Ätzübertragung in einkristallines Silizium sowie Cr- und Au-Schichten

Sundermann, Michael. January 2002 (has links) (PDF)
Bielefeld, Universiẗat, Diss., 2002.
4

Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie

Letzkus, Florian, January 2003 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2003.
5

Die SOI-Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium-Membranmasken

Butschke, Jörg. January 2003 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2003.
6

Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie

Letzkus, Florian. Unknown Date (has links) (PDF)
Universiẗat, Diss., 2003--Stuttgart.

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