Modification of the properties of solid state structures, used for gas sensing is important task in making detection and measurement systems of volatile chemical compounds. These properties depend on material, inner structure and interaction with gas atmosphere. In hybrid materials (solid-biomolecular) biochemical recognition plays important role in gas sensing mechanism. In this work the methodologies of the SPM was applied for characterization of the local point and local area properties in the gas sensitive MO films with the nanoscaled thickness that can be used for nanosystems and hybrid materials in novel types of chemical detectors. In this dissertation morphology and physical properties of metal oxide films with thickness from a few to about 50 nm was investigated and described a relationship between the gas response and film thickness. It was experimentally shown that effects of external influence on the properties of the surface nanostructures can be described by the specific characteristics of the scanning probe spectroscopy displaying the dependences of the probe contact electric current on both the probe potential and the probe pressing force. An original method based on the SPM probe controlled electrical current was proposed for the formation of nanosystems with various electrical properties on the surfaces of thin MO films. / Kryptingas kietojo kūno darinių, naudojamų išorinio dujų poveikio detekcijai, savybių keitimas yra vienas iš aktualiausių uždavinių, sprendžiamų kuriant lakiųjų cheminių junginių poveikio atpažinimo ir matavimo sistemas. Šias savybes lemia darinių medžiaga, jų struktūra bei sąveikos su dujine aplinka ypatumai, kurie hibridiniuose dariniuose iš kietojo kūno ir biomolekulių gali būti lemiami dar ir biocheminiu atpažinimu. Šiame darbe tiriami dujoms jautrūs hibridiniai dariniai ir nanosistemos, integruotos metalo oksido plėvelėse, Skenuojančio zondo mikroskopijos (SZM) metodais. Disertacijoje susieti itin plonų (<30-50 nm) SnOx sluoksnių varžos atsako į dujas bei elektrinių savybių ypatumai su sluoksnių morfologija, priklausančia nuo auginimo sąlygų ir trukmės. Eksperimentiškai įrodyta, jog SZM lokalinių srovių tyrimai, priklausomai nuo matavimo parametrų, leidžia atskirai aprašyti technologiškai keičiamas dujoms jautrių darinių charakteristikas ir tik nanosistemose vykstančius procesus, kurie, kai kuriais atvejais, gali būti stebimi ir tipiškuose dujoms jautrių darinių taikymuose. Sukurtas originalus metodas, tinkantis nanostruktūroms metalo oksidų paviršiuje formuoti bei tų struktūrų elektrinėms savybėms keisti. Skirtingai nuo literatūroje žinomo paviršiaus nanooksidinimo, pritaikyto formuoti cheminiam poveikiui atsparias dangas, mūsų metodas leidžia formuoti įvairaus elektrinio laidumo nanostruktūras metalo oksidų paviršiuje.