Ce mémoire traite de l'élaboration d'une nouvelle filière technologique pour micro-commutateurs parallèles capacitifs micro-ondes sur membrane diélectrique. Les micro-commutateurs sont des ponts à air métalliques actionnés électrostatiquement et structurés par un micro-usinage de surface. Un micro-usinage de volume est réalisé pour obtenir une membrane sur laquelle les circuits fabriqués sont faibles pertes. Le chapitre I présente le procédé technologique global utilisé. Dans un premier temps nous détaillons les briques de base constituant chacun des procédés des deux faces de la plaquette, la face supérieure pour le micro-commutateur et la face inférieure pour la membrane. La fin de ce chapitre est consacrée à l'optimisation de l'enchaînement de ces deux procédés afin d'assurer une bonne compatibilité technologique de l'ensemble des étapes. Le chapitre II traite de l'analyse mécanique des ponts métalliques. Les modèles analytiques de la littérature concernent en général des ponts plats à encastrements parfaits. C'est pourquoi nous avons tout d'abord exposé les résultats de simulations d'un micro-commutateur suivant différentes configurations. L'analyse de son comportement permet d'anticiper certains problèmes liés à sa conception. Une seconde partie est consacrée à la mesure des raideurs mécaniques de différents modèles de ponts métalliques. A la fin du chapitre nous présentons une méthode permettant d'évaluer le module d'Young et la contrainte initiale moyenne en utilisant les mesures précédemment effectuées. Le chapitre III concerne la caractérisation micro-onde de démonstrateurs. Dans une première partie le comportement des micro-commutateurs est évalué à l'aide d'outils analytiques. Nous pouvons ainsi anticiper les problèmes de réalisation et estimer l'influence de chaque paramètre du micro-commutateur sur son comportement. Une deuxième partie est consacrée aux caractérisations micro-ondes d'un micro-commutateur sur silicium massif et sur membrane. Pour finir, ce dernier est intégré dans un démonstrateur plus complexe lui-même intégré dans un système participant à une tête de réception.

Un nombre de sujets concernant la microrobotique numérique ont été abordés dans le cadre de cette the` se. Une nouvelle génération du microrobot numérique ”DiMiBot” a e´ te´ proposé ce qui rend le DiMiBot plus précis, plus contrôlable et plus petit. La nouvelle structure est formée de deux modules multistables seulement, ce qui ajoute des fonctionnalités´ s importantes comme l’augmentation du nombre de positions avec une taille plus réduite et la capacité´ de réaliser des trajectoires complexes dans l’espace de travail. Le principe du nouveau module multistable combine les avantages des microactionneurs pas à pas en termes du principe et du concept numérique en termes de la répétabilité et la robustesse en boucle ouverte. Un mécanisme de positionnement précis, capable de compenser les incertitudes de fabrication a e´ te´ développé et utilise´ pour assurer un positionnement précis. En parallèle, des modèles analytiques ont e´ te´ développés pour les principaux composants dans le DiMiBot: poutres flambées préformées et actionneurs e´ électrothermiques en U. Des méthodes de conception ont été développées par la suite qui permettent de choisir les dimensions optimales garantissant les performances requises en respectant les spécifications et limites de design. Des prototypes de modules multistables, fabrique´ s dans la salle Blanche MIMENTO, ont montré´ un bon Fonctionnement dans les expériences. / A number of topics concerning digital microrobotics were addressed in this thesis. A new generation of the digital microrobot ”DiMiBot” was proposed with several advantages making the DiMiBot more accurate, more controllable and smaller. The new structure consists of only two multistable modules which adds some important features such as increasing the number of positions with smaller size and the ability to realize complex trajectories in the workspace. The principle of the new multistable module combines the advantages of the stepping microactuators in terms of the principle and of the digital concept in terms of the repeatability and robustness without feedback. The accuracy is ensured with an accurate positioning mechanism that compensate the fabrication tolerances. In parallel, analytical models was developed for the main components in the DiMiBot: preshaped curved beams and U-shaped electrothermal actuators. Subsequently, design methods were developed that allow choosing the optimal dimensions that ensure the desired outputs and respecting the design specifications and limitations. Multistable module prototypes, fabricated in the clean room MIMENTO, showed a proper functioning in the experiments.