Neste trabalho apresentaremos os procedimentos para a confecção de substratos de LiNbO3 para dispositivos OAS (Ondas Acústicas Superficiais). Assim como a construção de linhas de atraso, caracterização elétrica e pelo método de \"Laser Probe\". No procedimento experimental, inicialmente descreveremos os métodos e cuidados para a preparação dos substratos do monocristal de LiNbO3 produzido nos laboratórios do Grupo de Crescimento de Cristais do DFCM - IFQSC - USP. Para serem utilizados em linhas de atraso com freqüência central de operação de 70 MHz. Na segunda etapa, descreveremos a construção dos transdutores, o encapsulamento e a caracterização elétrica das linhas de atraso. A caracterização elétrica consta das medidas de impedância das portas de entrada e saída, e da medida de transmissão em um espectro de freqüência do dispositivo OAS. Finalmente, para a caracterização dos substratos confeccionados e util1zados nas linhas de atraso, construímos um sistema óptico, \"Laser Probe, que nos permite medir a velocidade e determinar o campo da onda acústica superficial sobre esses substratos. Apresentamos através do conhecimento do campo acústico, o espalhamento, o desvio de feixe acústico com relação ao alinhamento dos transdutores e as frentes de ondas superficiais em regiões do substrato. Resultados das medidas de perda intrínseca (6 dB) por linha de atraso e o espectro de transmissão dos dispositivos OAS foram apresentados. Sendo a última medida apresentada em comparação com a medida de transmissão da caracterização elétrica / In this work a procedure is presented for fabricating LiNbO3 substrates for Surface Acoustic Wave (SAW) devices. Also described is the construction of SAW delay lines which are characterized using electrical and acoustic-optical methods. Firstly, the experimental methods for producing LiNbO3 single crystal substrates for operation at 70 MHz are described in detail. The single crystals were grown in the crystal growth laboratory of DFCM_IFQSC. Secondly, the techniques for building the transducers are discussed including the encapsulation. The delay lines are then characterized electrically by measuring the impedance of transducers and also the transmission frequency spectra of the SAW devices. Finally, for the characterization of substrates used in delay lines, a laser probe technique was developed, which allows the propagation velocities to be measured. Surface acoustic wave fields in these substrates are then determined making it possible to obtain the scattering, beam steering acoustic and the surface wave fronts in the substrates regions. As an application, results of intrinsic loss (6dB) and pass band measurements in the delay line are presented. These results are found to be in good agreement with previously published data

Neste trabalho apresentaremos os procedimentos para a confecção de substratos de LiNbO3 para dispositivos OAS (Ondas Acústicas Superficiais). Assim como a construção de linhas de atraso, caracterização elétrica e pelo método de \"Laser Probe\". No procedimento experimental, inicialmente descreveremos os métodos e cuidados para a preparação dos substratos do monocristal de LiNbO3 produzido nos laboratórios do Grupo de Crescimento de Cristais do DFCM - IFQSC - USP. Para serem utilizados em linhas de atraso com freqüência central de operação de 70 MHz. Na segunda etapa, descreveremos a construção dos transdutores, o encapsulamento e a caracterização elétrica das linhas de atraso. A caracterização elétrica consta das medidas de impedância das portas de entrada e saída, e da medida de transmissão em um espectro de freqüência do dispositivo OAS. Finalmente, para a caracterização dos substratos confeccionados e util1zados nas linhas de atraso, construímos um sistema óptico, \"Laser Probe, que nos permite medir a velocidade e determinar o campo da onda acústica superficial sobre esses substratos. Apresentamos através do conhecimento do campo acústico, o espalhamento, o desvio de feixe acústico com relação ao alinhamento dos transdutores e as frentes de ondas superficiais em regiões do substrato. Resultados das medidas de perda intrínseca (6 dB) por linha de atraso e o espectro de transmissão dos dispositivos OAS foram apresentados. Sendo a última medida apresentada em comparação com a medida de transmissão da caracterização elétrica / In this work a procedure is presented for fabricating LiNbO3 substrates for Surface Acoustic Wave (SAW) devices. Also described is the construction of SAW delay lines which are characterized using electrical and acoustic-optical methods. Firstly, the experimental methods for producing LiNbO3 single crystal substrates for operation at 70 MHz are described in detail. The single crystals were grown in the crystal growth laboratory of DFCM_IFQSC. Secondly, the techniques for building the transducers are discussed including the encapsulation. The delay lines are then characterized electrically by measuring the impedance of transducers and also the transmission frequency spectra of the SAW devices. Finally, for the characterization of substrates used in delay lines, a laser probe technique was developed, which allows the propagation velocities to be measured. Surface acoustic wave fields in these substrates are then determined making it possible to obtain the scattering, beam steering acoustic and the surface wave fronts in the substrates regions. As an application, results of intrinsic loss (6dB) and pass band measurements in the delay line are presented. These results are found to be in good agreement with previously published data