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1	Étude fondamentale de la gravure physico-chimique de SiO₂ dans un plasma haute densité Quintal-Léonard, Antoine January 2007 (has links) Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal. Gravure physico-chimique Plasma Profils de tranchées Chlore Photolithographie
2	Étude fondamentale de la gravure physico-chimique de SiO₂ dans un plasma haute densité Quintal-Léonard, Antoine January 2007 (has links) Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal Gravure physico-chimique Plasma Profils de tranchées Chlore Photolithographie