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Spelling suggestions: "subject:"semicondutores - difusão"" "subject:"semicondutores - ifusão""

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Processos termicos rapidos RTO / RTA para fabricação de dispositivos MOS / Rapid thermal process RTO / RTA for MOS devices fabrication

Cavarsan, Fabio Aparecido 06 October 2005 (has links)
Orientador: Jose Alexandre Diniz / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-08-08T23:44:14Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Cavarsan_FabioAparecido_M.pdf: 1844366 bytes, checksum: d8325d817635ac4ad6cb932db6b5ebb6 (MD5) Previous issue date: 2005 / Mestrado / Microeletronica e Optoeletronica / Mestre em Engenharia Elétrica
Dielétricos
Filmes finos - Propriedades elétricas
Semicondutores amorfos
Semicondutores - Difusão
Filmes semicondutores
Transistores de efeito de campo
Oxide
Ativation
RTO
RTA
Annealing

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