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Diseño, fabricación e instalación de un equipo en alto vacío para preparar muestras de películas delgadas de semiconductoresGálvez Del Villar, José Armando 09 May 2011 (has links)
En el presente trabajo se diseñó, fabricó e instaló un equipo de alto vacío, en el laboratorio de Ciencia de los materiales de la Sección de Física de la Pontificia Universidad católica del Perú. Esto se logró con apoyo del proyecto de investigación Preparation and characterization of amorphous thin (AlN)x(SiC)1x films using dc magnetron sputtering and pulsed láser deposition, que desarrollan en conjunto la Universidad ErlangenNürnberg de Alemania y la Pontificia Universidad católica del Perú.
El equipo consta de una cámara de alto vacío, un manipulador para la muestra y tres magnetrones flexibles. El equipo trabaja con una presión al interior de la cámara de 107 mbar, requerimiento importante para usar el método de deposición de metales conocido como sputtering, el cual permite obtener películas delgadas de semiconductores como carburo de silicio y nitruro de aluminio. / Tesis
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Diseño del control de la temperatura del portasustrato de una cámara de alto vacío para elaborar películas semiconductoras delgadasCalderón Chavarri, Jesús Alan 06 November 2012 (has links)
Este trabajo de tesis muestra el diseño del control de temperatura del portasustrato de la
cámara de alto vacío del Laboratorio de Ciencia de los Materiales de la Sección Física de
la PUCP. Para estudiar las propiedades físicas, químicas y ópticas de las películas
semiconductoras delgadas elaboradas dentro de la cámara, los investigadores retiran las
películas a un horno externo fuera de la cámara; sometiéndolas a altas temperaturas. Por
ello es un requerimiento realizar el control de temperatura del portasustrato, el cual
sostiene al sustrato donde se depositan las películas semiconductoras, dentro de la
cámara de alto vacío.
Por tal necesidad se diseñó el control de temperatura del portasustrato, para lo cual se
realizaron pruebas en una placa térmica que transfiere calor al portasustrato de la cámara,
debido al Efecto Joule, en una resistencia eléctrica de 50 Ohmios y capaz de proporcionar
1200W de potencia eléctrica; esta resistencia está en el interior de la placa térmica.
Posicionando adecuadamente el sensor de temperatura (termocupla) y mediante el
algoritmo de control diseñado (Proporcional e Integral) por el modelo de Ziegler and
Nichols, se logró satisfactoriamente el control de temperatura del portasustrato de la
cámara de alto vacío para el Laboratorio de Ciencia de los Materiales de la PUCP, con un
error menor a 2°C.
Fue necesario conocer en qué rangos de temperatura el portasustrato tiene un
comportamiento lineal entre la señal de entrada y la temperatura monitoreada, en un
experimento realizado en lazo abierto para así conocer las funciones de transferencia que
se puedan obtener y poder realizar el control de temperatura en el rango de trabajo del
portasustrato. / Tesis
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Estudio técnico económico para la instalación de una fábrica de ladrillos de arcilla, al vacío en Habana, Moyobamba, San MartínGarcía Panduro, Jorge Miguel January 2014 (has links)
Trata sobre la Instalación de una fábrica de ladrillos de arcilla, empleando la tecnología al vacío, en el poblado de Habana, Provincia de Moyobamba, Región de San Martín. Para ello es necesario inicialmente, ejecutar la actividad de extracción o explotación de estas sustancias arcillosas, las que luego de su moldeo o fabricación, continuar con un proceso de secado y de transformación por quema, para obtener los ladrillos, uno de los elementos principales de la industria de la construcción en la región. / Tesis
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Diseño, fabricación e instalación de un equipo en alto vacío para preparar muestras de películas delgadas de semiconductoresGálvez Del Villar, José Armando 09 May 2011 (has links)
En el presente trabajo se diseñó, fabricó e instaló un equipo de alto vacío, en el laboratorio de Ciencia de los materiales de la Sección de Física de la Pontificia Universidad católica del Perú. Esto se logró con apoyo del proyecto de investigación Preparation and characterization of amorphous thin (AlN)x(SiC)1x films using dc magnetron sputtering and pulsed láser deposition, que desarrollan en conjunto la Universidad ErlangenNürnberg de Alemania y la Pontificia Universidad católica del Perú.
El equipo consta de una cámara de alto vacío, un manipulador para la muestra y tres magnetrones flexibles. El equipo trabaja con una presión al interior de la cámara de 107 mbar, requerimiento importante para usar el método de deposición de metales conocido como sputtering, el cual permite obtener películas delgadas de semiconductores como carburo de silicio y nitruro de aluminio.
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Diseño del control de la temperatura del portasustrato de una cámara de alto vacío para elaborar películas semiconductoras delgadasCalderón Chavarri, Jesús Alan 06 November 2012 (has links)
Este trabajo de tesis muestra el diseño del control de temperatura del portasustrato de la
cámara de alto vacío del Laboratorio de Ciencia de los Materiales de la Sección Física de
la PUCP. Para estudiar las propiedades físicas, químicas y ópticas de las películas
semiconductoras delgadas elaboradas dentro de la cámara, los investigadores retiran las
películas a un horno externo fuera de la cámara; sometiéndolas a altas temperaturas. Por
ello es un requerimiento realizar el control de temperatura del portasustrato, el cual
sostiene al sustrato donde se depositan las películas semiconductoras, dentro de la
cámara de alto vacío.
Por tal necesidad se diseñó el control de temperatura del portasustrato, para lo cual se
realizaron pruebas en una placa térmica que transfiere calor al portasustrato de la cámara,
debido al Efecto Joule, en una resistencia eléctrica de 50 Ohmios y capaz de proporcionar
1200W de potencia eléctrica; esta resistencia está en el interior de la placa térmica.
Posicionando adecuadamente el sensor de temperatura (termocupla) y mediante el
algoritmo de control diseñado (Proporcional e Integral) por el modelo de Ziegler and
Nichols, se logró satisfactoriamente el control de temperatura del portasustrato de la
cámara de alto vacío para el Laboratorio de Ciencia de los Materiales de la PUCP, con un
error menor a 2°C.
Fue necesario conocer en qué rangos de temperatura el portasustrato tiene un
comportamiento lineal entre la señal de entrada y la temperatura monitoreada, en un
experimento realizado en lazo abierto para así conocer las funciones de transferencia que
se puedan obtener y poder realizar el control de temperatura en el rango de trabajo del
portasustrato.
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