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Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上森, 敏彦, MORI, Toshihiko, 福田, 俊一, FUKUDA, Syun'ichi, 竹村, 嘉彦, TAKEMURA, Yoshihiko 07 1900 (has links)
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