Thèse de docteur-ingénieur : Acoustique : Villeurbanne, INSA : 2001. / Thèse : 2001ISAL0052. Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p.136-145.

Thèse doctorat : Instrumentation et Micro-Electronique : Nancy 1 : 2007. / Titre provenant de l'écran-titre.

Thèse de doctorat : Génie Mécanique : Villeurbanne, INSA : 2002. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p.203-208.

Thèse de doctorat : Sciences de la vie et de la santé : Tours : 2009. / Titre provenant de l'écran-titre.

La Microscopie à Force Atomique (AFM) rapide et ses applications potentielles en nano-biotechnologie nécessite l’augmentation de la fréquence de résonance des sondes, constituées de levier résonant à quelques mégahertz. De plus, lors du passage en liquide, la fréquence de résonance ainsi que le facteur de qualité sont dégradés tandis que le système optique de mesure gagne en complexité. Les travaux présentés dans ce manuscrit proposent de remplacer le levier standard de l’AFM par un microsystème résonant à haute fréquence, présentant un facteur de qualité élevé et dont l’actionnement comme la détection seront intégrés. Après un état de l’art de l’AFM et de l’apport potentiel des microsystèmes pour la discipline, les détails de la conception d’une sonde basée sur un anneau en silicium vibrant suivant un mode elliptique munie d’une pointe sont présentés. Le procédé technologique 3D de fabrication collective sur substrats des sondes est détaillé. La pointe, dont l’apex présente un rayon de courbure nanométrique, est fabriquée par gravure chimique. L’actionnement électrostatique et la détection capacitive mettent en jeu un entrefer de 80nm auto-aligné. Un ensemble de caractérisations électriques et optiques permettent de mesurer et de calibrer les sondes avant leur montage sur un scanner AFM commercial. L’imagerie sur des échantillons biologiques, des origamis d’ADN, à l’aide d’une sonde fonctionnant à 11MHz et présentant un facteur de qualité à l’air de 1300 conclue ce manuscrit. La résolution en force obtenue est de 5pN.Hz-1/2. / High speed Atomic Force Microscopy (AFM) and its potential applications in nanobiotechnology need to increase the resonance frequency of the probes limited in the case of the usual cantilever to a few megahertz. The first chapter describes the state of the art of the AFM and focus on the potential of MEMS in this area. The second chapter treats of the conception of a sensor taking advantage of the high resonance frequency of a silicon bulk mode resonator integrating a nanotip fabricated in batch process. We describe in the next chapter the realization of MEMS-based AFM Nanoprobes with integrated in-plane nanotip and 80nm self-aligned capacitive transduction gaps. The probes are fabricated using a photolithographic process and deep reactive ion etching. Small gaps being critical to maximize the capacitive transduction, the self-aligned 80nm capacitive gaps are obtained by thermal oxidation of the resonator side walls and polysilicon refilling. A chemical wet etching defines the in-plane nanotip thanks to the selectivity between the silicon planes. The radius of the tip apex obtained is about 10-20nm.One probe, working at 11MHz and showing a Q factor of 1300 is optically and electrically fully characterized. The probe holder of a Multimode Veeco microscope is replaced by a dedicated circuit board supporting the MEMS probe. The sample is constituted by DNA origami which is bimolecular self-assembled structure programmed to form various geometric shapes. In this case, 50nm side and 2nm height squares of DNA deposited on mica surface are used. For this probe, the minimal detectable force is estimated at 5pN.Hz-1/2.

Le développement du Web a motivé l’apparition de nombreux types de formats de données semi-structurées pour les problèmes liés aux technologies du Web, comme le traitement des documents ou la gestion de base de données.Nous étudions ici la conversion des données semi-structurées d’un schéma à un autre. Pour le traitement de documents, c’est la technologie XML qui offre la solution la plus puissante à ce problème. En XML, les données semi-structurée sont des arbres de données dont les schémas peuvent être définis par des automates d’arbres avec contraintes sur les valeurs de données. Les transformations de documents sont spécifiées en XSLT, un langage fonctionnel muni de requêtes logiques XPath. Le cœur de XSLT correspond aux transducteurs d’arbres à macros avec navigation par requêtes XPath.Nous proposons de nouveaux algorithmes pour l’apprentissage des transducteurs d’arbres, basés sur des méthodes d’inférence grammaticale. Nous abordons la restriction de schéma, l’anticipation (lookahead), ou la concaténation dans la sortie.1. Nous donnons une forme normale et un algorithme d’apprentissage dans le modèle de Gold avec des ressources limitées pour les transducteurs d’arbres de haut en bas déterministes avec une inspection de domaine régulière.2. Nous montrons comment apprendre des fonctions rationnelles, décrites par les transducteurs de mots déterministes avec anticipation. Nous proposons une nouvelle forme normale qui permet un apprentissage avec des ressources polynomiales.3. Pour les transducteurs arbre-vers-mot linéaires, qui permet la concaténation dans sa sortie, nous présentons une forme normale, et montrons comment décider l’équivalence en temps polynomial. / Since the arrival of the Web, various kinds of semi-structured data formats were introduced in the areas of computer science and technology relevant for the Web, such as document processing, database management, knowledge representation, and information exchange. In this thesis, we study the conversion of semi-structured data from one schema to another.For document processing, the most powerful solutions to this problem were proposed by the XML technology. In the XML format, semi-structured data is restricted to data trees, so that schemas can be defined by tree automata, possibly enhanced by constraints on data values. Document transformations can be defined in XSLT, a purely functional programming language with logical XPath queries. The core of XSLT are macros tree transducers with navigation by XPath queries.We contribute new learning algorithms on tree transducers, that are based on methods from grammatical inference. We address three limitiations of previous approaches: schema restrictions, lookaheads, and concatenation in the output.1. For deterministic top-down tree transducers with regular domain inspection, we show a normal form and a Gold style learning algorithm in with limited resources.2. We show how to learn rational functions, described by deterministic transducers of words with lookahead. We propose a new normal form for such transducers which provides a compromise between lookahead and state minimization, that leads to a learning algorithm in Gold’s learning model with polynomial resources.3. For linear tree-to-word transducers with concatenation in the output, we present a normal form and show how to decide equivalence in polynomial time.

Reproduction de : Thèse de doctorat : Acoustique : Le Mans : 2007. Reproduction de : Thèse de doctorat : Acoustique : Université technique tchèque : 2007. / Thèse soutenue en co-tutelle. Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p. 109-111.

Thèses (M.Sc.A.)--Université de Sherbrooke (Canada), 2001. / Titre de l'écran-titre (visionné le 20 juin 2006). Publié aussi en version papier.

Th. doct.--Acoustique phys.--Paris 7, 1995. / Bibliogr. p. 229-235. Résumé en français et en anglais.

Thèse doctorat : Acoustique : Villeurbanne, INSA : 2003. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. p. 169-173.