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21	Microdispositifs en couches minces d'oxydes<br />supraconducteurs (YBa2Cu3O7-d)<br />et manganites (La0,7Sr0,3MnO3) Mechin, Laurence 11 December 2005 (has links) (PDF) Ce mémoire décrit mes travaux de recherche depuis le début de ma thèse de doctorat en<br />octobre 1993. J'ai principalement travaillé sur deux types d'oxydes: YBCO et LSMO. J'ai toujours<br />cherché à aborder le développement des microdispositifs dans leur ensemble, c'est à dire de la<br />couche mince à la caractérisation du composant. Une partie de mon travail a concerné l'étude des<br />propriétés structurales, électriques ou magnétiques des couches minces afin d'optimiser et stabiliser<br />les conditions de dépôts optimales. Les deux oxydes YBCO et LSMO présentent une structure de<br />type pérowskite et nécessitent des conditions de dépôts similaires (température de l'ordre de 700-<br />750 °C dans une atmosphère oxygénée). J'ai utilisé trois méthodes de dépôt différentes: l'ablation<br />laser pulsée, la pulvérisation cathodique DC on axis sous haute pression et la pulvérisation<br />cathodique RF off axis. [PHYS:COND] Physics/Condensed Matter [PHYS:COND] Physique/Matière Condensée couches minces bolomètres bruit imagerie magnétique AFM STM MFM vicinal silicium