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Photoakustische Online-Spektroskopie von Schichten im Nanometer-Bereich / Online photo acoustic spectroscopy of thin layersPrinzhorn, Heinrich 28 March 2013 (has links)
Die Messung der Schichtdicke und die Charakterisierung von Oberflächen ist in
modernen Produktionsprozessen von elementarem Interesse. Fehler wirken sich
nicht nur unmittelbar sondern auch in der Weiterverarbeitung zum Endprodukt
aus. In der Praxis werden zunehmend immer dünnere Schichten und edlere Materialien
verarbeitet, was neue Verfahren notwendig macht.
In dieser Arbeit sind mechanischer Aufbau, optische Komponenten, elektronische
Bauteile und Eigenschaften eines Messsystems beschrieben, welches erstmals
in der Lage ist, den Mengenauftrag trockener Konversions-Schutzschichten auf
Aluminiumsubstraten hochempfindlich, berührungslos und nicht-destruktiv zu bestimmen.
Das Messsystem ist bereits seit einigen Monaten im industriellen Einsatz.
Die Messergebnisse wurden im Rahmen dieser Arbeit in einen Kontext vielfältiger
Analysemethoden gesetzt und es konnte gezeigt werden, dass die anorganischen
Komponenten der Konversionsschicht maßgeblichen Anteil an der Signalbildung
haben. Entscheidend für die Qualität der Beschichtung von Substraten mit Vorbehandlung
ist die Bestimmung des Zirkoniumgehalts. Die Robustheit der Methode
gegenüber Störungen durch andere Parameter (Abstand, Energie, Trocknungs-
Temperatur und anderen) wurde erwiesen.
Im Vergleich mit anderen kommerziell verfügbaren Methoden zeigt das entwickelte
Messsystem keine größeren Schwächen. Es kann prinzipiell nicht nur für
Konversionsschichten, sondern außerdem für viele andere Schichtsysteme genutzt
werden. Das in dieser vorgestellte Messsystem und seine grundlegende Funktionsweise
wurden am 18. Februar 2014 zum Patent in den USA eingereicht.
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