In der Arbeit wurde erstmals die Eignung von Silizium-Bauelementen mit monolithisch integrierten Thermosäulen als Wärmeleistungstransducer für thermochemische Sensoren zur Detektion flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) untersucht. Dabei wurden bereits in massensensitiven und kapazitiven Sensoren bewährte Polymerschichten als chemisch sensitive Rezeptoren verwendet. Als Kriterien für die Bewertung des Sensors dienten Empfindlichkeit, Signal-Rausch-Verhältnis, Reproduzierbarkeit und Signaldynamik. Weiterhin konnte die für die Anwendung der Silizium-Thermosäulen entwickelte Methodik zur Charakterisierung neuer organischer Clathratbildner als potentielle Rezeptormaterialien genutzt werden. Für die untersuchten Clathratbildner wurden die Empfindlichkeiten und die Signaldynamik gegenüber einer Auswahl typischer organischer Lösungsmittel gemessen. Es konnte festgestellt werden, dass die Empfindlichkeitsrelationen deutlich von den Eigenschaften der Rezeptorschichten bestimmt werden und damit eine Mustererkennung in entsprechend konfigurierten Sensorarrays möglich sein sollte. Entgegen den Erwartungen spielt jedoch für die Selektivität der Rezeptorschichten der stereoselektive Effekt der Clathratbildung keine Rolle, da entsprechende Phasenumwandlungen erst oberhalb sensorrelevanter Partialdrücke auftreten und der Messeffekt lediglich durch Adsorption erzeugt wird.

In der Arbeit wurde erstmals die Eignung von Silizium-Bauelementen mit monolithisch integrierten Thermosäulen als Wärmeleistungstransducer für thermochemische Sensoren zur Detektion flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) untersucht. Dabei wurden bereits in massensensitiven und kapazitiven Sensoren bewährte Polymerschichten als chemisch sensitive Rezeptoren verwendet. Als Kriterien für die Bewertung des Sensors dienten Empfindlichkeit, Signal-Rausch-Verhältnis, Reproduzierbarkeit und Signaldynamik. Weiterhin konnte die für die Anwendung der Silizium-Thermosäulen entwickelte Methodik zur Charakterisierung neuer organischer Clathratbildner als potentielle Rezeptormaterialien genutzt werden. Für die untersuchten Clathratbildner wurden die Empfindlichkeiten und die Signaldynamik gegenüber einer Auswahl typischer organischer Lösungsmittel gemessen. Es konnte festgestellt werden, dass die Empfindlichkeitsrelationen deutlich von den Eigenschaften der Rezeptorschichten bestimmt werden und damit eine Mustererkennung in entsprechend konfigurierten Sensorarrays möglich sein sollte. Entgegen den Erwartungen spielt jedoch für die Selektivität der Rezeptorschichten der stereoselektive Effekt der Clathratbildung keine Rolle, da entsprechende Phasenumwandlungen erst oberhalb sensorrelevanter Partialdrücke auftreten und der Messeffekt lediglich durch Adsorption erzeugt wird.