Les travaux présentés dans ce mémoire portent sur l'étude de matériaux piézoélectriques de synthèse de la famille des langasite et sur la réalisation de micro-résonateurs basse fréquence dans ces matériaux. La première partie de l'étude se concentre sur la recherche des orientations des coupes compensées en température pour les coupes X de la langasite (LGS) et de la langatate (LGT), pour les modes d'extension selon Y et de flexion autour de X. Un modèle analytique simple et des simulations par éléments finis permettent de déterminer les valeurs théoriques de ces orientations. Des dispositifs de types barreau et diapason sont ensuite réalisés afin d'effectuer des mesures électriques pou confirmer l'existence de ces coupes compensées. La seconde partie de l'étude concerne la fabrication de micro-résonateurs en langasite. Plusieurs méthodes d'usinage (mécanique, DRIE,...) sont envisagées avant que notre choix ne se porte sur l'usinage chimique (solution HCl). Le procédé de fabrication est détaillé puis des mesures de vibration sont menées pour les dispositifs obtenus.

De l'automobile à l'aéronautique en passant par le biomédical, tout domaine d'applications utilise des capteurs dont certains sont à sortie fréquentielle. L'arrivée de nouveaux matériaux piézoélectriques a ouvert une porte vers des applications inaccessibles jusqu'à lors et essentiellement à hautes températures. L'orthophosphate de gallium est l'un de ces nouveaux matériaux piézoélectriques ayant de plus un fort facteur de couplage. Ce mémoire porte sur l'étude et la réalisation de capteurs en orthophosphate de gallium fonctionnant en ondes de volumes. La première partie consiste à étudier la sensibilité et stabilité thermique en élaborant un modèle analytique de poutre vibrant en élongation, flexion et torsion. Au cours de cette partie est démontrée l'existence de coupes compensées en température pour ces différents modes. Cette étude théorique est ensuite complétée par une analyse utilisant la méthode des éléments finis (MEF). La réalisation de résonateurs dans diverses orientations cristallographique est effectuée, dont celles compensées en températures. Les mesures associées à ces structures sont confrontées aux résultats théoriques. Vient ensuite l'application d'un biocapteur fonctionnant en cisaillement d'épaisseur. Un modèle éléments finis est élaboré pour étudier l'influence de certains paramètres sur le comportement du capteur. Une comparaison entre le modèle établi et les mesures expérimentales est également présentée. Ces résultats positifs ouvrent des perspectives d'évolution décrites en conclusion.