Orientador: Francisco das Chagas Marques / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin" / Made available in DSpace on 2018-08-14T18:36:55Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Barbieri_PauloFernando_D.pdf: 3626831 bytes, checksum: 0f15b74219acbe9e82e54ae2ce3d1ed4 (MD5) Previous issue date: 2009 / Resumo: Esta tese mostra um estudo realizado sobre implantação de xenônio (Xe) em uma matriz amorfa de silício (a-Si) utilizando a técnica de Deposição Assistida com Feixe de Íons (IBAD). Para esta finalidade, um feixe de íons de Xe com energia de 1500 eV, obtido de um canhão tipo Kaufman, foi utilizado para a realização de sputtering de um alvo de silício, produzindo um filme de a-Si em um substrato colocado a 15 cm de distância via deposição. Ao mesmo tempo outro feixe de íons de Xe, obtido por um segundo canhão de energia variável (0 a 300 eV), implantava átomos na rede do a-Si que estava em formação. Foi possível implantar concentrações de xenônio de até 5% com energia da ordem de 50 eV. Esta energia de implantação é de várias ordens de grandeza menor do que a energia utilizada no processo convencional de implantação que utiliza valores de energia de ordem de milhares de eV. Para investigar o Xe dentro da matriz amorfa de Si foram utilizadas técnicas de excitações atômicas XAS (X-Ray Absorption Spectroscopy), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) e XAES (X-Ray Auger Excited Spectroscopy) e também simulações teóricas para XAS. Os resultados experimentais de XAS indicam que os átomos de Xe são implantados majoritariamente de forma dispersa pela matriz, isolados dentro de defeitos estruturais. Medidas de XPS mostram que os níveis eletrônicos de caroço dos átomos de xenônio são alterados em função do sítio de aprisionamento, que por sua vez, estão relacionados com a energia de implantação. Um estudo utilizando uma combinação de XPS e XAES permitiu identificar e separar as contribuições relativas às alterações eletrônicas observadas nos átomos de Xe devido a inserção deles dentro do a-Si. A análise destes resultados, XPS/XAES, forneceu indícios sobre os tamanhos das cavidades hospedeiras dos átomos de Xe. Simulações teóricas de XAS foram bastante satisfatórias e corroboram com as observações realizadas por XPS/XAES e indicam timidamente formações de aglomerados para alguns casos, ou seja, minoritariamente. Dependendo da energia de implantação, a dinâmica de crescimento do filme é alterada possibilitando estruturas diferentes na matriz. Foi também constatado que o aumento da densidade do a-Si por efeito de compactação pode ser mascarado pela introdução de elementos com massas relativamente grandes, como por exemplo, Xe / Abstract: A study of xenon (Xe) implantation in amorphous silicon (a-Si) by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD) technique is investigated in this thesis. A Xe ion beam with energy of 1500 eV, obtained from a Kaufman gun, was used for sputtering a Si target, depositing an a-Si film on the substrate holder placed 15 cm apart. Simultaneously, another Xe beam with variable energy (0 ¿ 300 eV), was used to bombard the a-Si for the implantation of Xe atoms. It was obtained Xenon concentration up to 5%, using energy as low as 50 eV, which is orders of magnitude smaller than those usually used by conventional implantation, that requires thousands of eV. For the investigation of the Xe atoms in the a-Si matrix, XAS (X-Ray Absorption Spectroscopy), XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) and XAES (X-Ray Auger Excited Spectroscopy) techniques and theoretical simulations of XAS were used. The experimental results of XAS showed that Xe atoms are dispersed in the a-Si matrix as isolated element majoritively into structural defects. XPS measurement shows that the electronic core levels of the Xe atoms are shifted as function of the trapping site, which in turn, are related to the energy implantation. The use of XPS and XAES allowed the identification and the separation of the contribution to the shift in the binding energy due to the relaxation energy. The analysis of this results, XPS/XAES, provided indications as to size of the cavity containing the trapped Xe. XAS theoretical simulations gave satisfactory results and corroborate with XPS/XAES observations and tentativelly indicated small clusters, for a minority of cases. Depending on the implantation energy, the growth dynamics of the films is changed, allowing different structures in the matrix. It was also verified that the increase in the density of the film by the packing effect is obscured by the introduction of heavier elements, for example, Xe / Doutorado / Física da Matéria Condensada / Doutor em Ciências

Submitted by Joana Azevedo (joanad@id.uff.br) on 2017-07-03T17:28:22Z No. of bitstreams: 1 Dissert Leonardo Machado Rocha.pdf: 2299550 bytes, checksum: dc4f9a37e0d5220596d63ce7b2793888 (MD5) / Rejected by Biblioteca da Escola de Engenharia (bee@ndc.uff.br), reason: Favor acertar o tamanho da ficha. O tamanho padrão é 7,5cm x 12,5cm, de acordo com o Código de Catalogação Anglo-Americano (AACR2). Atenciosamente, Catarina Ribeiro Bibliotecária BEE - Ramal 5992/5993/5994 on 2017-07-10T14:43:13Z (GMT) / Submitted by Joana Azevedo (joanad@id.uff.br) on 2017-08-03T13:06:53Z No. of bitstreams: 1 Dissert Leonardo Rocha.pdf: 2401003 bytes, checksum: d8f81985c8f3cc90ba1106fbfbbe9bcd (MD5) / Approved for entry into archive by Biblioteca da Escola de Engenharia (bee@ndc.uff.br) on 2017-08-22T16:10:05Z (GMT) No. of bitstreams: 1 Dissert Leonardo Rocha.pdf: 2401003 bytes, checksum: d8f81985c8f3cc90ba1106fbfbbe9bcd (MD5) / Made available in DSpace on 2017-08-22T16:10:05Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Dissert Leonardo Rocha.pdf: 2401003 bytes, checksum: d8f81985c8f3cc90ba1106fbfbbe9bcd (MD5) Previous issue date: 2009-12-17 / Várias são as razões pelas quais determinados temas podem necessitar de intervenção do Estado. Assim, para atingir o objetivo desejado, o Estado pode recorrer a uma diversidade de ações, onde a natureza do problema a ser resolvido ou evitado e a magnitude dos impactos econômicos, políticos e sociais, decorrentes da aplicação de cada uma das opções, condicionam a estratégia e, conseqüentemente, o instrumento a ser adotado. A depender do problema a ser resolvido é possível que a solução passe pelo estabelecimento de um programa de avaliação da conformidade como forma de regulamentar determinado setor. Assim, torna-se fundamental que a sua concepção seja dotada de cuidados com vistas a garantir sua adequada e efetiva implantação, bem como tornar sua absorção pela sociedade o menos traumática possível. Por meio de uma análise crítica dos casos de insucesso experimentados pelo Inmetro na implantação de programas de avaliação da conformidade, da identificação de cada ator envolvido neste processo, de seus interesses e motivações, e da estruturação do macroprocesso de avaliação da conformidade do instituto foi possível perceber que a grande fraqueza do processo está fundamentada na carência de ações de divulgação e comunicação adequadas junto às partes impactadas e interessadas pelos programas de avaliação da conformidade. Desta forma, o estabelecimento de mecanismos oportunos de comunicação, envolvimento e participação de todas as partes impactadas e interessadas pelo estabelecimento de um programa de avaliação da conformidade mostra-se fundamental como forma de mitigar os entraves observados em grande parte das ações desta natureza, conduzidas pelo Estado, em especial pelo Inmetro. Neste contexto, esta pesquisa tem o objetivo de propor um conjunto de ações que devem ser empreendidas pelo Inmetro, devidamente fundamentado por um conjunto de informações referentes a cada segmento que se pretenda regulamentar, de forma a minimizar os entraves ao processo de implantação de um programa de avaliação da conformidade. Para tanto, foi realizado um estudo hierárquico dos processos específicos e operacionais da Diretoria de Qualidade do Inmetro, além de entrevistas com o corpo funcional da Diretoria seguidas de análises das causas de insucesso da atividade. Por fim, foi estruturado um Guia de Implantação Assistida que permitirá a sistematização da atividade. / There are several reasons for which certain issues may require State intervention. Thus, to achieve the desired goal, the State may use a variety of actions, where the nature of the problem to be solved or avoided and the magnitude of the economic, political and social impact, arising from the implementation of each option, determine the strategy and, consequently, the instrument to be adopted. Depending on the problem to be solved is possible that the solution passes through the establishment of a conformity assessment program as a way to regulate a sector. Thus, it is essential that its development be provided with care in order to ensure an appropriate and effective deployment and make their absorption into society the least traumatic as possible. Through a critical analysis of the failures experienced by Inmetro in implementing conformity assessment programs, of the identification of each actor involved in this process, their interests and motivations, and of the structure of the macro-processes of conformity assessment of the institute could realize that the great weakness of the process is based on the lack of appropriated actions of disclosure and communication with the parties concerned and impacted by the conformity assessment programs. Thus, the establishment of mechanisms for timely communication, involvement and participation of all impacted and interested parties in setting up a conformity assessment program has proven crucial as a way to mitigate the barriers observed in the majority of such actions, conducted by the State, especially by Inmetro. In this context, this research aims to propose a set of actions to be undertaken by Inmetro, duly supported by a set of information on each segment to be regulated, in order to minimize any obstacles to the deployment of a conformity assessment program. Therefore, we performed a hierarchical study of specific and operational processes of Inmetro Quality Board, as well as interviews with the Quality Board’s workforce followed by analysis of the causes of failure of the activity. Finally, a Assisted Deployment Guide that will allow the systematization of the activity was structured.