Submitted by Etelvina Domingos (etelvina.domingos@ufpe.br) on 2015-03-11T19:31:40Z No. of bitstreams: 2 Dissertação Claudio Abreu de França.pdf: 3819638 bytes, checksum: 413f5bcc9410ea751cef2da4d08b9966 (MD5) license_rdf: 1232 bytes, checksum: 66e71c371cc565284e70f40736c94386 (MD5) / Made available in DSpace on 2015-03-11T19:31:40Z (GMT). No. of bitstreams: 2 Dissertação Claudio Abreu de França.pdf: 3819638 bytes, checksum: 413f5bcc9410ea751cef2da4d08b9966 (MD5) license_rdf: 1232 bytes, checksum: 66e71c371cc565284e70f40736c94386 (MD5) Previous issue date: 2013 / CNPq / Este trabalho teve como principais objetivos a exploração e o controle da técnica de Litografia Óptica de Escrita Direta na preparação de arranjos magnéticos extensos e de boa qualidade. Foram preparadas microestruturas à base de Permalloy e realizamos a caracterização morfologia e magnética desses sistemas. Os objetos obtidos pela técnica de microlitografia foram círculos e elipsóides cujas dimensões se restringiram a alguns micrômetros e foram dispostos em uma matriz quadrada contendo milhares destes elementos. Além de utilizar o DWL66 da HEIDELBERG instruments para a fabricação das máscaras de fotoresina, também foi utilizado o plasma etching para a limpeza do substrato antes e depois do processo de escrita. A deposição do material magnético foi utilizando magnetron sputtering DC. Ainda na preparação, foi confeccionada uma câmara para iluminação das amostras, com o intuito de aperfeiçoar o processo de sensibilização da fotoresina e assim minimizar a presença de resíduos decorrentes da etapa de remoção pelo revelador. Para a caracterização estrutural das amostras foram feitas análises por microscopia óptica, microscopia de Força Atômica e microscopia eletrônica de varredura. As imagens obtidas por essas técnicas revelaram arranjos extensos de boa qualidade e estruturas cujas dimensões e formas obedeciam à regularidade desejada, indicando a aplicabilidade da técnica e a confiabilidade em reproduzir estruturas. No que diz respeito à caracterização magnética, utilizou-se um Magnetômetro de Amostra Vibrante para obtenção de curvas de magnetização em função do campo aplicado.