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Metallische Konstruktionswerkstoffe in der Mikrosystemtechnik bei strukturierter elektrochemischer Herstellung methodischer Ansatz zur Produktentwicklung /Lütke Notarp, Dietmar. Unknown Date (has links) (PDF)
Universiẗat, Diss., 2002--Bremen.
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Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die MikrostrukturprüfungBitte, Frank. January 2002 (has links) (PDF)
Techn. Hochsch., Diss., 2003--Aachen.
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Analyse der Prozesskette zur Herstellung mikrostrukturierter Bauteile durch Spritzgießen /Gärtner, Ralf. January 2005 (has links)
Techn. Hochsch., Diss., 2005--Aachen.
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Metrologische Qualifizierung von Koordinatenmessgeräten für mikromechanische Bauteile /Campos Porath, Maurício de. January 2009 (has links)
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2009.
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Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten KomponentenHiller, Karla 16 September 2004 (has links) (PDF)
This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes. / Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.
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Werkzeug- und Zerspanprozessoptimierung beim Hartfräsen von Mikrostrukturen in Stahl /Tritschler, Hanno. January 2007 (has links)
Universiẗat, Diss.--Karlsruhe, 2006.
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Elektrostatisch unterstützte Handhabungstechniken in der Mikromontage /Wrege, Jan. January 2007 (has links)
Zugl.: Braunschweig, Techn. Universiẗat, Diss., 2007.
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Grossformatige Abformung mikrostrukturierter Formeinsätze durch HeissprägenMehne, Christian. January 2007 (has links)
Zugl.: Karlsruhe, Universiẗat, Diss., 2007.
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Photogrammetrischer 3D-Bildsensor für die automatisierte MikromontageBerndt, Michael January 2007 (has links) (PDF)
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2007
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Energieversorgung autarker Mikrosysteme Modellierung von Leiterstrukturen auf heterogenen MaterialienRehfuss, Sven January 2005 (has links)
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2005
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