Spelling suggestions: "subject:"pnp̈glasübergang silicium MEMS"" "subject:"pnp̈glasübergang filicium MEMS""
1 |
Herstellung von spannungsoptimierten Silizium-Membranen durch den elektrotechnischen Ätzstopp an pn-ÜbergängenSoßna, Eva Unknown Date (has links)
Univ., Diss., 2002--Kassel
|
Page generated in 0.0434 seconds