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Search results
Showing 31 to 40 of 67 (0.052 seconds)| 31 |
Welchen Nutzen haben Sensoren? Wo bleibt das 1x1 des Bodens?Graf, Klaus 15 November 2017 (has links) (PDF)
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Biosphärenmonitoring Bedarf und PotenzialeScholta , Claudia, Varga, Johann 14 November 2017 (has links) (PDF)
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Ergebnisse der Workshops zu Pflanzenbaulichen Anforderungen an Sensorsysteme und Technologischen Möglichkeiten der BiosphärensensorikHerlitzius, Tomas, Schmidtke, Knut 14 November 2017 (has links) (PDF)
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SEBIMO - Microwave-based Measurement of Soil ParametersStatz, C., Küttner, J., Plettemeier, D., Herlitzius, Thomas 14 November 2017 (has links) (PDF)
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Bodenmonitoring im digitalisierten Pflanzenbau - die Sichtweise des DienstleistersSchneider, Martin 14 November 2017 (has links) (PDF)
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Visionen und Strategien in der BodenbearbeitungGiesen, Gottfried 14 November 2017 (has links) (PDF)
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Anforderungen an das Bodenmonitoring aus Sicht der MeliorationHehne, Mario 30 November 2017 (has links) (PDF)
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Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen AspektverhältnissenLohmann, Christian 29 June 2006 (has links)
Die Arbeit beschreibt die Entwicklung und Evaluierung einer Technologieplattform für
die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen.
Grundlage dieser Technologieplattform stellt ein neuartiges Konzept zur mechanischen
und elektrischen Kontaktierung beweglicher Elemente mittels spezieller Träger dar, deren
typische Breite unterhalb eines Mikrometers liegt. Basierend hierauf werden drei unterschiedliche
Prozessabläufe zur Herstellung der Mikrostrukturen, auch als Air gap Insulated
Microstructures (AIM) bezeichnet, vorgestellt. Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt dabei
auf der mehrschichtigen Trägervariante mit Isolationsebene und Leitungsebene. Verschiedene
Schichtkombinationen, bestehend aus Siliziumnitrid, Siliziumdioxid und Aluminium,
sind in ihrem mechanischen, thermischen und Langzeitverhalten charakterisiert
und im Hinblick auf ihre Anwendbarkeit für die Träger bewertet. Für die Strukturierung
der Siliziumelemente wird ein Verfahren basierend auf einem CF-Polymer als Passivierungsschicht
beschrieben. Neben verschiedenen Ausfallmechanismen für die Passivierung
werden gezielte Optimierungen der Abscheide- und Ätzprozesse erläutert sowie deren Resultate
dargestellt. Für die vollständige Trennung von Substrat und seismischer Masse ist
eine isotrope, vom Aspektverhältnis nahezu unabhängige Siliziumstrukturierung nötig.
Entsprechende Betrachtungen und Untersuchungen hierzu, unter Verwendung der Reaktionsgase
SF6 und O2, stellen den Abschluss der Untersuchungen zur Prozessentwicklung
dar. Um die Leistungsfähigkeit der Technologieplattform zu demonstrieren, erfolgt die
Herstellung verschiedener Sensoren und Aktoren. Die Charakterisierung dieser Elemente
in ihrem mechanischen, thermischen und Langzeitverhalten stellt den Abschluss dieser
Arbeit dar.
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Biosphärenmonitoring Bedarf und PotenzialeScholta, Claudia, Varga, Johann January 2017 (has links)
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Ergebnisse der Workshops zu Pflanzenbaulichen Anforderungen an Sensorsysteme und Technologischen Möglichkeiten der BiosphärensensorikHerlitzius, Tomas, Schmidtke, Knut 14 November 2017 (has links)
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