Les microsystèmes sont des composants électromécaniques fabriqués à l'échelle du micron par des procédés technologiques issus des microélectronique. Ils associent sur un même substrat des capteurs et des actionneurs avec des circuits analogiques et numériques d'interface. Comme pour les circuits intégrés, le test des microsystèmes est une étape importante du cycle de fabrication en terme de coût mais également pour assurer un certain niveau de qualité et de fiabilité. Le but de cette thèse est de transposer aux microsystèmes les techniques de test structurel développées pour les circuits intégrés. Ces techniques sont la simulation de fautes et la "conception en vue du test". La simulation de fautes permet de générer des stimuli de test visant des défauts physiques du système et susceptibles d'affecter le comportement du composant. Pour transposer cette technique aux microsystèmes, il a fallu tout d'abord faire une étude des mécanismes de défaillance et des défauts des microsystèmes. Nous avons ciblé deux technologies différentes et représentatives des microsystèmes. Une fois les défauts répertoriés notre étude s'est portée sur la modélisation et l'injection des fautes dans les différents niveaux de modélisation des microsystèmes. La "conception en vue du test" est un ensemble de techniques facilitant les étapes de test de production par l'insertion d'éléments spécifiques dans le circuit. En ce qui concerne les microsystèmes, nous avons cherché, dans cette thèse, à développer des éléments permettant de générer des stimuli de test de différentes natures (multidisciplinaires) à partir de signaux électriques et ceci directement sur le circuit. Nous avons appliqué une conception auto-test à deux exemples de microsystèmes, un capteur d'empreintes digitales à micropoutres et un détecteur infrarouge à thermopiles. Dans les deux cas les éléments rajoutés permettent d'effectuer un test structurel sans avoir recours à une source externe
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00002936 |
| Date | 12 March 2001 |
| Creators | Charlot, B. |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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