Le collage direct consiste en la mise en contact de deux surfaces suffisamment lisses et propres pour créer une adhérence entre-elles, et ce sans apport de matière à l'interface des matériaux. Ce procédé est réalisable à l'échelle industrielle et compatible avec les procédés de la microélectronique. Il trouve son principal intérêt dans la réalisation de substrats innovants. Le plus célèbre d'entre eux est le substrat SOI (pour " Silicon On Insulator "). Depuis quelques années, une nouvelle voie s'est ouverte dans le collage direct en l'élargissant au collage de couches métalliques ce qui permet de répondre à de nouvelles applications en offrant par exemple conduction électrique et dissipation thermique. Ce travail de thèse a pour objectif d'analyser le comportement du collage direct de couches métalliques et de poser les premiers éléments de modélisation. La compréhension de ces fondamentaux est indispensable pour optimiser le procédé et permettre une intégration de cette technologie dans un grand nombre de dispositifs. Dans cette étude, des procédés de collage direct de couches de tungstène et de titane ont été développés à la lumière des pré-requis établis pour le collage direct. La caractérisation physico-chimique des interfaces de collage et de leur évolution en température ont permis de mettre en évidence le rôle clé de l'oxyde métallique. Il est montré que les mécanismes de collage sont gouvernés par des phénomènes de diffusion aux joints de grains et par l'instabilité de la couche d'oxyde piégée à l'interface de collage. Par ailleurs, les propriétés mécaniques et électriques des interfaces ont été étudiées. Enfin, la compréhension du comportement des interfaces en fonction de certains paramètres conduit à quelques recommandations pour réussir l'intégration du collage direct métallique.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00956581 |
| Date | 21 October 2013 |
| Creators | Baudin, Floriane |
| Publisher | Université de Grenoble |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | fra |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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