La mesura de superfícies òptiques ha esdevingut un camp d'investigació molt important en
els últims anys. En els sincrotrons es necessiten òptiques que tinguin una precisió en l'ordre
del nanòmetre per tal d'assolir la brillantor necessària en les investigacions. Normalment es
fan servir dos mètodes per tal de mesurar aquests miralls: interferometria i de
ectometria.
Els desavantatges de la interferometria és que la precisió ve determinada per la precisió de
la superfície de referència. El desavantatge de la de
ectometria és que les mesures són unidimensionals.
En aquesta tesi es presenta un nou mètode, el lateral shearing seqüencial bidimensional, que
agrupa les avantatges dels dos mètodes: no es necessita superfície de referència i les mesures
són bidimensionals i ràpides. En aquesta tesi es presenta el nou mètode tan a nivell teòric
així com en un escenari realista. Inicialment es fa un desenvolupament teòric, per després
anar afegint diferents fonts d'error, com el soroll a les mesures, l'error de posicionament i
els errors de guiatge pitch i roll. Es fa un anàlisi de la infl
uència d'aquestes fonts d'error i es
determina que és necessari un mètode per a l'estimació de pitch i roll. Per això en aquesta
tesi es presenta un nou mètode per a l'estimació de pitch i roll basat en la sobre informació que es té de la mesura.
Amb aquest mètode es redueixen significativament els errors, però es necessita també afegir
informació dels termes quadràtics de la superfície mesurada per tal d'arribar a la precisió demandada.
Per aquest motiu es desenvolupa un nou mètode per a lestimació dels termes
quadràtics de la superfície a mesurar a partir del 3-
at test. Amb l'estimació del 3-
at test,
l'estimació de pitch i roll i l'aplicació del lateral shearing seqüencial bidimensional, s'arriba
a una precisió en l'ordre del nanòmetre en la reconstrucció de la superfície a mesurar. / Measuring optic surfaces is a research field very important, specially in the last 20 years.
Synchrotrons need optics with an accuracy of the nonemeter for achieving the brilliance
needed in the beamlines. Usually there are two methods for measuring optic surfaces: interferometry
and de
ectometry. The disadvantage of interferometry is that needs of a reference
surface and, then, accuracy in interferometry is limited by the accuracy of the reference
surface using in the measurements. The disadvantage of de
ectometry is that measurements
are unidimensional measurements.
In this thesis a new method for measuring optic surfaces, bidimensional sequential lateral
shearing, is presented. This method has the advantage that is not needed a reference surface
and measurements are fast and bidimensional. A theoretical analysis and a a realistic
scenario approach is done. For this reason firstly a theoretical development of the method
is done, and secondly, different error sources have been introduced: noise in measurements,
positioning errors and pitch and roll errors are added in the displace of the linear stage needed
for the method. A new algorithm for the estimation of pitch and roll and a new method
for the estimation of the quadratic terms of the surface under test have been presented.
With the estimation of quadratic terms of the surface under test and the estimation of pitch
and roll, the accuracy measuring optic surfaces with the bidimensional sequential lateral
shearing method presented in this thesis achieves the nanometer range.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:TDX_UAB/oai:www.tdx.cat:10803/285132 |
| Date | 19 December 2014 |
| Creators | Vidal González, Josep |
| Contributors | Campos, Juan, Nicolás, Josep, Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Física |
| Publisher | Universitat Autònoma de Barcelona |
| Source Sets | Universitat Autònoma de Barcelona |
| Language | Catalan |
| Detected Language | English |
| Type | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
| Format | 219 p., application/pdf |
| Source | TDX (Tesis Doctorals en Xarxa) |
| Rights | ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs., info:eu-repo/semantics/openAccess |
Page generated in 0.0016 seconds