Return to search

電子注入ストレスを加えたゲート酸化膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析

No description available.
Identiferoai:union.ndltd.org:NAGOYA/oai:ir.nul.nagoya-u.ac.jp:2237/12703
Date01 August 2004
Creators世古, 明義, 渡辺, 行彦, 近藤, 博基, 酒井, 朗, 財満, 鎭明, 安田, 幸夫
Publisher電子情報通信学会
Source SetsNagoya University
LanguageJapanese
Detected LanguageJapanese
TypeArticle(publisher)
RightsCopyright 2004 IEICE

Page generated in 0.0013 seconds