Studies on Microplasmas in Coaxial Dielectric Barrier Discharges and Their Application to Thin Film Deposition at Atmospheric Pressure / 同軸型誘電体バリア放電を用いたマイクロプラズマとその大気圧薄膜堆積への応用に関する研究

Description

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第15383号 / 工博第3262号 / 新制||工||1491(附属図書館) / 27861 / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 髙岡 義寛, 教授 北野 正雄, 教授 藤田 静雄 / 学位規則第4条第1項該当

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1. http://hdl.handle.net/2433/120872
2. 10.14989/doctor.k15383

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マイクロプラズマ

大気圧プラズマ

プラズマジェット

ミリ波透過特性診断法

化学気相堆積法

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/120872
Date	23 March 2010
Creators	Ito, Yosuke
Contributors	髙岡, 義寛, 北野, 正雄, 藤田, 静雄, 伊藤, 陽介, イトウ, ヨウスケ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	DFAM, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf