単結晶シリコンへき開面ナノギャップにおける熱輸送の間隔依存性計測

Description

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第25280号 / 工博第5239号 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 土屋 智由, 教授 蓮尾 昌裕, 教授 平方 寛之 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/288714
2. 10.14989/doctor.k25280
3. 14301

Tags

ナノギャップ

単結晶シリコン

近接場放射

MEMS

ナノスケール熱特性

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/288714
Date	25 March 2024
Creators	霜降, 真希
Contributors	Shimofuri, Masaki, シモフリ, マサキ
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Rights	許諾条件により本文は2024-12-01に公開