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電子注入ストレスを加えたゲート酸化膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析

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Identiferoai:union.ndltd.org:NAGOYA/oai:ir.nul.nagoya-u.ac.jp:2237/12703
Date01 August 2004
Creators世古, 明義, 渡辺, 行彦, 近藤, 博基, 酒井, 朗, 財満, 鎭明, 安田, 幸夫
Publisher電子情報通信学会
Source SetsNagoya University
LanguageJapanese
Detected LanguageJapanese
TypeArticle(publisher)
RightsCopyright 2004 IEICE

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