Orientador: Sergio Moehlecke / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-19T07:37:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1994 / Resumo: Este trabalho consiste da concepção, construção e caracterização de microdefletores de feixes luminosos, doravante denominados "microscanners", fabricados utilizando-se a técnica de corrosão anisotrópicade silício. Confrontaram-se, por análises quantitativas dos parâmetros ópticos e dinâmicos, as características dos diferentes defletores citados na literatura, concluindo-se pela concepção de um atuador galvanométrico monolítico de silício e chegando-se a
protótipos originais que apresentam vantagens com relação aos congêneres. Diversas técnicas, métodos e processos de microfabricação tiveram que ser desenvolvidos ou criados na UNICAMP, tais como: corrosão anisotrópica de Si;
afinamento de lâminas simultâneo à corrosão; bobina planar e sua alimentação; máscaras de proteção contra corrosão; alívio de tensões mecânicas, etc. Além de dominar-se cada processo, foi necessário compatibilizá-Ios, de modo que os
dispositivos suportassem todas as etapas da microfabricaçãosem deteriorar-se, pois os filmes finos usados na microfabricação sofrem agressões violentas, que causam-Ihes problemas de tensões mecânicas internas, de aderência e de corrosão, os quais foram resolvidos com a seleção de materiais, otimização das condições de deposição dos filmes, tratamento térmico posterior adequado, e com o desenvolvimento de máscaras de proteção aderentes e de baixa tensão mecânica, capazes de protegê-Ios e aos substratos, e de suportar o processo de corrosão anisotrópica. Cinco seqüências de fabricação foram concebidas e experimentadas, e duas geraram dispositivos caracterizáveis quanto à resposta em freqüência.Primeiro fêz-se o microscanner com suspensão por fio, com ângulo de deflexão máximo de 31,10 à
freqüênciade 29,4 Hz, excitação senoidalde 3,1 mApp e campo magnético externo de 1400 Gauss. Por último fêz-se o microscanner com suspensão por barras de torção, com ângulo de deflexão máximode 160 miligrausà freqüência de 1.570 Hz, excitação senoidal de 23,2 m App e campo magnético externo de 3500 Gauss. O de barras de torção, mais indicado para a fabricação em larga-escala, teve analisadas alterações de parâmetros de fabricação que melhorassem seu desempenho. Por exemplo, a redução da resistência da bobina por um fator de dez implicou ângulo de deflexão oito vezes maior. Pode-se, pelo controle da largura da barra de torção e espessura da lâmina, produzir o ângulo de deflexão e a freqüência de ressonância desejados. O domínio de todos esses processos também abriu caminho para a fabricação de outras categorias de dispositivos, tais como microsensores, microatuadores, microtriodos, displays planos, etc / Abstract: Not informed. / Doutorado / Doutor em Engenharia Elétrica
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/260481 |
| Date | 04 February 1994 |
| Creators | Ferreira, Luiz Otavio Saraiva, 1956- |
| Contributors | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Moehlecke, Sergio, 1948-, Moraes, Wilmar Bueno de, Braga, Edmundo da Silva, Ferreira, Elnatan Chagas, Tatsh, Peter Jurgen |
| Publisher | [s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis |
| Format | [154]f. : il., application/pdf |
| Source | reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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