Effect of Amorphous Hydrogenated Carbon Multilayer Coating on Tensile and Torsional Strength of Single Crystal Silicon for Mechanical Reliability Enhancement of MEMS Structures / MEMS微細構造の機械的信頼性向上のための単結晶シリコンの引張およびねじり強度に及ぼす水素含有非晶質炭素多層膜の影響評価

Description

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24228号 / 工博第5056号 / 新制||工||1789(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 土屋 智由, 教授 平方 寛之, 教授 江利口 浩二 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/277371
2. 10.14989/doctor.k24228
3. 14301

Tags

Tensile strength

Torsional strength

Amorphous hydrogenated carbon

Multilayer coating

Mechanical reliability

Single crystal silicon

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/277371
Date	26 September 2022
Creators	Xia, Yuanlin
Contributors	夏, 园林, カ, エンリン
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Rights	許諾条件により本文は2023-09-26に公開