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Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上

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1. http://hdl.handle.net/2237/9035
2. 0387-5024
3. 日本機械学會論文集 C編. v.66, n.647, 2000, p.2409-2416

Identifer	oai:union.ndltd.org:NAGOYA/oai:ir.nul.nagoya-u.ac.jp:2237/9035
Date	07 1900
Creators	森, 敏彦, MORI, Toshihiko, 福田, 俊一, FUKUDA, Syun'ichi, 竹村, 嘉彦, TAKEMURA, Yoshihiko
Publisher	日本機械学会
Source Sets	Nagoya University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	Article(publisher)
Rights	日本機械学会, 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである。