Numerical Analysis of Thermally Driven Rarefied Gas Flows inside Micro Devices / マイクロデバイス内部の温度駆動希薄気体流の数値解析

Description

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24611号 / 工博第5117号 / 新制||工||1978(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻 / (主査)教授 大和田 拓, 教授 髙田 滋, 講師 杉元 宏 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/283730
2. 10.14989/doctor.k24611
3. 14301

Tags

Rarefied gas dynamics

DSMC method

Numerical analysis

MEMS

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/283730
Date	23 March 2023
Creators	Sugimoto, Shogo
Contributors	杉本, 祥悟, スギモト, ショウゴ
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation