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Physics and engineering of sheet plasma devices / シートプラズマ装置の物理と工学 / シート プラズマ ソウチ ノ ブツリ ト コウガク

また、この研究は、特定の動作条件で生成されたシートプラズマで、プラズマやシートプラズマの寸法を決定する動作パラメータなどのプラズマ条件を理解し、最適化パラメータと将来の産業用アプリケーションの条件を導き出すことも目的としています。 そのため、この研究は、表面技術アプリケーション用のシートプラズマデバイスの開発と理解に貢献することを試みています。 / Sheet plasmas have the advantage of producing thin films and functional surfaces by generating localized high-density and temperature gradient regions suitable for specific reactions. A stream of high energy electrons from a plasma cathode efficiently excites and/or ionizes atomic and molecular species which are confined in a linear magnetic field. An electron cyclotron resonance (ECR) sheet plasma device employing a 2.45 GHz microwave source and combination of permanent magnets and field coils was designed and operated. The combined field realized a linear magnetic field that sustained a rectilinear confinement of the plasma. / 博士(工学) / Doctor of Philosophy in Engineering / 同志社大学 / Doshisha University

Identiferoai:union.ndltd.org:doshisha.ac.jp/oai:doshisha.repo.nii.ac.jp:00001571
Date20 September 2019
CreatorsArnold Rey Burgos Gines
Source SetsDoshisha University
LanguageEnglish
Detected LanguageEnglish
TypeThesis or Dissertation
Formatapplication/pdf
Sourcehttps://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/BB13128127/?lang=0

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