In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk
aus einkristallinem Silizium mittels verfügbarer Mikrotechnologien realisierbar
ist. Dazu wird die aus der Feinwerktechnik bekannte mechanische Anordnung so angepasst,
dass sie mit den Möglichkeiten der gewählten Technologien herstellbar wird. Eine Besonderheit
ist die Verwendung flexibler Gelenke. Dadurch entfallen Montage und Justage, die
Struktur ist monolithisch. Auch der Werkstoff und das Aktuationsprinzip unterscheiden
sich von denen herkömmlicher Schrittschaltwerke. Wegen seiner ausgezeichneten mechanischen
Eigenschaften wird einkristallines Silizium ausgewählt. Bei den Antrieben kommt das
elektrostatische Wirkprinzip zur Anwendung. Nach einer Einführung in das Themengebiet
werden Entwurf und Herstellung des Schrittschaltwerkes behandelt. Die Beschreibung der
messtechnischen Charakterisierung und ihrer Ergebnisse schließt sich an. Ein Ausblick auf
mögliche Applikationen bildet den Abschluss der Arbeit.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18942 |
| Date | 27 June 2008 |
| Creators | Schröter, Bernd |
| Contributors | Dötzel, Wolfram, Hoffmann, Martin, Nagel, Thomas, Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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