Orientador : C.I.Z. Mammana / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas / Made available in DSpace on 2018-07-14T09:14:46Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1976 / Resumo: Este trabalho documenta a experiência obtida no projeto e construção de um implantador de íons no LME-EPUSP e o subsequente projeto de um implantador de íons para o Laboratório de Eletrônica e Dispositivos da Faculdade de Engenharia da UNICAMP. Foram concluÍdos os projetos e desenhos de execução das partes componentes do implantador do LED tendo sido introduzidas diversas modificações baseadas na experiência anteriormente citada e também nas características propostas para o implantador do LED. Entre estas podemos citar a elaboração de uma fonte de íons de concepção mais simples a utilização de um espectrômetro massa tipo setor magnético, uma câmara de alvo aperfeiçoada. O sistema de vácuo é totalmente automático / Abstract: Not informed / Mestrado
Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/262005 |
Date | 14 July 2018 |
Creators | Damiani, Furio, 1943-2016 |
Contributors | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Mammana, Carlos Ignacio Zamitti, 1941-, Mammana, Carlos |
Publisher | [s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia de Campinas, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica |
Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
Language | Portuguese |
Detected Language | Portuguese |
Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
Format | 122 f. : il., application/pdf |
Source | reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP |
Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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