Return to search

Entwurf und Realisierung eines Informationssystems zur Prozeßdatenverwaltung und -verarbeitung im durchgängigen Halbleitertechnologieprozeß

No description available.

1. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-98779
2. urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-98779
3. issn:1430-211X
4. PPN375350632
5. http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/9877/tud_TB_1997-05.pdf
6. http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/9877/tud_97-05.ps

Identifer	oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:bsz:14-qucosa-98779
Date	14 November 2012
Creators	Gratz, Achim, Schulz, Patrick, Spallek, Rainer G.
Contributors	Technische Universität Dresden, Fakultät Informatik
Publisher	Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
Source Sets	Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Language	deu
Detected Language	German
Type	doc-type:workingPaper
Format	application/pdf, application/postscript, application/zip
Relation	dcterms:isPartOf:Technische Berichte / Technische Universität Dresden, Fakultät Informatik ; 1997,05 (TUD-FI97-05 Mai 1997)