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Abscheidung funktioneller Schichten mittels Plasmatronzerstäubung

Zinn- und Zinnlegierungsschichten wurden mittels einer Magnetronquelle auf CuSn6-
Substrate aufgebracht. Durch Wahl geeigneter Legierungspartner (Al. Ti), die galvanisch nicht
abscheidbar sind, konnten Schichtwerkstoffe mit neuen Eigenschaften hergestellt und hinsichtlich
einer Eignung als Kontaktveredelung geprüft werden. Verantwortlich dafür ist eine Umwandlung
der grobkristallinen, durch säulenförmige Kristallite geprägten in eine feinkristalline dichte, zur
Oberfläche parallel orientierte Struktur.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:bsz:ch1-201000453
Date28 April 2010
CreatorsKupfer, Hartmut, Ackermann, Eckehard, Hecht, Günther
ContributorsTU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
PublisherUniversitätsbibliothek Chemnitz
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Languagedeu
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:article
Formatapplication/pdf, text/plain, application/zip
SourceWissenschaftliche Zeitschrift der TH Karl-Marx-Stadt. – 28 (1986) 2, S. 203 - 209

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