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Herstellung von spannungsoptimierten Silizium-Membranen durch den elektrotechnischen Ätzstopp an pn-Übergängen
Description
Univ., Diss., 2002--Kassel
Links & Downloads
https://kobra.bibliothek.uni-kassel.de/handle/urn:nbn:de:hebis:34-1592
Tags
pn-Übergang Silicium MEMS
Additional Fields
Identifer
oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/179863915
Creators
Soßna, Eva
Source Sets
OCLC
Language
German
Detected Language
German
Type
Online-Publikation
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