Etude d'électrodes métalliques à base de tungstène, préparées par MOCVD, pour empilement de grille CMOS de technologie sub-65 nm

Description

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Ecully, Ecole centrale de Lyon : 2006. / 107 réf.

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1. http://bibli.ec-lyon.fr/exl-doc/sallegret.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/493798291
Date	January 2006
Creators	Allegret, Stéphane Hollinger, Guy.
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French