La nano-structuration des surfaces est un intrigant domaine de la physique des matériaux que l'homme s'est approprié aussi bien à des fins esthétiques que fonctionnelles. Les nanostructures peuvent être présentes à l'état naturel (effet déperlant de la feuille de lotus) ou à l'état artificiel pour répondre à des besoins techniques et peuvent alors être fabriquées par lithographie. Le procédé étudié dans cette thèse est la nanoimpression thermique qui permet de répliquer à moindre coût les micro- et nanostructures d'un moule vers la surface d'un substrat. Ce procédé d'embossage consiste à imprimer le moule dans un film mince de polymère thermoplastique (50 à 500 nm d'épaisseur) préalablement déposé sur le substrat. Eventuellement, une étape ultérieure de gravure permet de transférer dans ce dernier les motifs imprimés. On s'intéresse en particulier à l'évaluation des vitesses d'impression des structures dans des films de polystyrène sur substrat de silicium. Un logiciel de simulation numérique a été développé ; il utilise la méthode des éléments naturels contraints (C-NEM). L'accent a été mis sur la prise en compte de trois effets éminemment importants à l'échelle nanométrique : tension de surface, mouillage, glissement à l'interface fluide-solide. Combiné à un comportement visqueux non linéaire, cela permet de rendre partiellement compte des phénomènes physiques qui surviennent lors de l'impression et d'avoir des temps de simulation compatibles avec les contraintes industrielles tout en conservant une évaluation pertinente des vitesses d'impression. Cette démarche nous place à mi-chemin entre des modèles analytiques très simples mais ayant un cadre d'utilisation très restreint et des modèles plus complexes trop onéreux pour la simulation, comme la viscoélasticité en grandes transformations. Ces travaux abordent enfin le problème de la caractérisation du polymère à l'échelle des films minces. Un des défis majeurs relevés ici consistait à appliquer à des films minces le comportement du polymère caractérisé à l'échelle macroscopique. La validation expérimentale de toute la théorie élaborée a permis d'appuyer cette démarche et d'en révéler les limites. Ces approches théorique et expérimentale sont un premier pas vers la conception d'un outil numérique d'optimisation de la nanoimpression thermique.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:pastel.archives-ouvertes.fr:pastel-00956591 |
| Date | 12 November 2013 |
| Creators | TEYSSEDRE, Hubert |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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