Ziel dieser Arbeit war es, die in der Professur Oberflächen- und Grenzflächenphysik
hergestellten Schichtsysteme strukturell zu charakterisieren. Mit Hilfe der
Röntgendiffraktometrie (XRD) ist es möglich, die Phasen und die Orientierung der
aufgewachsenen Schicht zu bestimmen. Mit einem weiteren Verfahren, der
Röntgenreflektometrie (XRR), lassen sich Aussagen über die Schichtqualität treffen. Durch
die Kombination dieser Methoden erhält man detaillierte Auskünfte über die Proben.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18293 |
| Date | 02 March 2005 |
| Creators | Mildner, Marcus |
| Contributors | Hoyer, Walter, Hinneberg, Hans-Jürgen, Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:masterThesis, info:eu-repo/semantics/masterThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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