Herstellung von spannungsoptimierten Silizium-Membranen durch den elektrotechnischen Ätzstopp an pn-Übergängen

Description

Univ., Diss., 2002--Kassel

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1. https://kobra.bibliothek.uni-kassel.de/handle/urn:nbn:de:hebis:34-1592

Tags

pn-Übergang Silicium MEMS

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/179863915
Creators	Soßna, Eva
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation