Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Description

Orientador : Ioshiaki Doi / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-08-01T09:31:11Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 2002 / Mestrado

Links & Downloads

1. (Broch.)
2. NELI, Roberto Ribeiro. Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie. 2002. 89p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258962>. Acesso em: 1 ago. 2018.
3. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258962

Tags

Nitreto de silício

Membranas (Tecnologia)

Pontes suspensas

Filmes finos

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/258962
Date	01 August 2018
Creators	Neli, Roberto Ribeiro
Contributors	UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Doi, Ioshiaki, 1944-
Publisher	[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Source Sets	IBICT Brazilian ETDs
Language	Portuguese
Detected Language	Portuguese
Type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format	89p. : il., application/pdf
Source	reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess