Die vorliegende Arbeit beschreibt die Herstellung,
Strukturierung und Modifizierung von poroesem Silizium.
Es wird der Mechanismus der Lumineszenz in poroesem
Silizium und der Einfluss von Herstellungsparametern und
einer Dotierung mit Laserfarbstoffen auf die optischen
Eigenschaften von poroesem Silizium untersucht. Fuer
die optische Charakterisierung wurden
Photolumineszenz-, Photolumineszenzanregungs- und
Kathodolumineszenzspektren aufgenommen.
Weiterhin werden Methoden zur Erzeugung von
poroesen Mikrostrukturen mit Hilfe eines ECSTM sowie zum
Schreiben von optischen
Mustern in poroesem Silizium durch einen Elektronenstrahl
vorgestellt.
Strukturelle Untersuchungen wurden mit einem SEM und einem
TEM durchgefuehrt.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:17350 |
| Date | 14 March 1997 |
| Creators | Cichos, Anna |
| Contributors | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | English |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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